Kuvars yarı iletkende ne için kullanılır?

Yarı iletken üretim alanında, silikon kristal büyümesinden oksidasyon difüzyonuna, dağlamadan temizlemeye kadar olan aşamalarda kuvars yapısal bileşenleri tüm süreçte yer alır. Gelişmiş proseslerin gelişmesiyle birlikte, metal safsızlıkları ve parçacıklardan kaynaklanan kirlenme toleransı her adımda giderek azalmaktadır.

The sentez kuvarsyüksek saflık, kabarcıksız, parçacık içermeyen, yüksek UV geçirgenliği vb. rakamlara sahiptir. Verimi önemli ölçüde artırabilen ve ömrünü uzatabilen, gelişmiş üretim süreçlerinde geleneksel doğal kuvars malzemelerinin kademeli olarak yerini almasını sağlar.

01 gravür halkası

Plazma bombardımanı altında (yüksek derecede reaktif flor ve klor bazlı gazlar içeren), malzemeler son derece yüksek kimyasal inertlik ve korozyon direnci gerektirir. Aynı zamanda, kuvars malzemelerin aşındırmadan kaynaklanan parçacık kirliliğini önlemek için son derece yüksek saflığa sahip olması gerekir. Aşındırma halkaları sarf malzemeleridir; şu anda çoğu ekipman doğal kuvars kullanıyor. Bununla birlikte, bazı gelişmiş işlemler (2 nm, 5 nm ve 28 nm'nin altındaki diğer işlemler), parçacıklar ve metal iyonları üzerindeki sıkı kontrol nedeniyle bunların yerini sentetik kuvars aşındırma halkaları almıştır.

02 Kuvars Kubbe

Aşındırma ve ince film biriktirme (CVD gibi) ekipmanında reaksiyon odasının tepesine monte edilen şeffaf kubbe şeklinde bir gözlem penceresi. Yabancı maddelerin proses odasını kirletmesini önlemek için sadece son derece yüksek saflığa ihtiyaç duymakla kalmaz, aynı zamanda prosesin gerçek zamanlı izlenmesi için algılama sisteminden gelen ışık sinyallerinin geçmesine izin verecek belirli optik özelliklere de ihtiyaç duyar. Son derece yüksek geçirgenliği ve yüksek saflığıyla sentetik kuvars, DOME'da (Diffüzyon Oksidasyonu) yaygın olarak kullanılmaktadır.

03 Fırın Borusu

Yüksek sıcaklıktaki oksidasyon/difüzyon fırınlarında, gofreti tutan ve proses reaksiyonunu yürüten boru şeklindeki çekirdek kap görevi görür. 1200°C'nin üzerindeki sıcaklıklarda yumuşama veya deformasyon olmadan uzun süreli çalışmayı mümkün kılan son derece yüksek ısı direnci gereklidir. Doğal kuvars, yüksek Al içeriği ve düşük hidroksil içeriği nedeniyle yüksek ısı direncine ulaşır ve fırın tüplerinde yaygın olarak kullanılır. Bununla birlikte, gelişmiş süreçler haznedeki metal safsızlık iyonları üzerinde giderek daha sıkı kontroller uyguladıkça, yüksek ısıya dayanıklı sentetik kuvars malzemeler yavaş yavaş doğal kuvars fırın tüplerinin yerini alıyor.

04 Temizleme Tankı

Gofretlerin ıslak temizliği için yüksek saflıkta, son derece aşındırıcı temizleme solüsyonlarını (SC1, SC2, hidroflorik asit, sülfürik asit vb.) tutmak için kullanılır. Kuvars malzemeler asit ve alkali korozyonuna karşı mükemmel bir dirence sahiptir: hemen hemen tüm güçlü asitlerin (hidroflorik asit ve sıcak fosforik asit hariç) erozyonuna direnebilirler, bu da tankın uzun süreli kullanım için paslanmadan kalmasını sağlar. Ancak uzun süreli kullanımda kuvars tankındaki metal iyonları yavaş yavaş salınarak kolayca kirlenmeye neden olur. PPB dereceli sentetik kuvars, metalin safsızlık iyon kirliliğini etkili bir şekilde azaltır ve kabarcıksız yapısı, onu pürüzsüz, yoğun yüzeylerin işlenmesi için daha uygun hale getirerek kirletici yapışmayı azaltır.

05. UV Kürleme Penceresi

UV kürleme ekipmanına monte edildiğinde UV ışığını iletmek için bir pencere görevi görür. Tüm optik malzemeler arasında sentetik kuvars, derin ultraviyole (DUV) ila ultraviyole (UV) bantlarında (185 nm'ye kadar) en yüksek geçirgenliğe sahiptir. Yüksek mukavemeti ve radyasyon direnci aynı zamanda uzun süreli UV ışınımı altında performansının bozulmamasını veya renginin bozulmamasını sağlar.

06. Gelişmiş Paketleme Taşıyıcısı

Gelişmiş paketleme işlemlerinde (Fan-Out, 2.5D/3D IC gibi), sentetik kuvars taşıyıcı levhalar, ultra ince levhaların geçici olarak desteklenmesi, sabitlenmesi, taşınması ve işlenmesi veya levhaların yeniden yapılandırılması için taşıyıcı plakalar olarak kullanılabilir. Sentetik kuvars malzeme, mükemmel düzlük ve sağlamlık elde etmek için işlenebilir, ultra ince talaşlar için sağlam destek sağlanır ve proses doğruluğu sağlanır.

Semicorex yüksek kalitede tedarik sağlarözelleştirilmiş kuvars bileşenlerifarklı işlemler için. Özelleştirilmiş çözümler veya ek teknik bilgiler için lütfen mühendislik ekibimizle iletişime geçmekten çekinmeyin.

Telefon: +86-13567891907

E-posta: sales@semicorex.com