Aixtron 1x4" SiC kaplı grafit tutucular

Gofretlerin epitaksiyel büyümesi MOCVD (Metal-Organik Kimyasal Buhar Biriktirme) ile gerçekleştirilir. Hassas şekilde dozlanmış ultra saf gazlar reaksiyon odasına iletilir; yüksek sıcaklıklarda kimyasal reaksiyonlar meydana gelir ve atomik ince filmlerin levha substratlar üzerinde birikmesine ve bileşik yarı iletken epitaksiyel yapılar oluşturmasına olanak tanır. MOCVD sistemleri için vazgeçilmez çekirdek parçalar olan SiC kaplı grafit tutucuların performansı, epitaksi büyüme hızı ve bitmiş levha kalitesi üzerinde belirleyici bir etki yaratır.

Semicorex, Aixtron 1x4" SiC kaplı grafit tutucuların temel malzemeleri olarak yüksek saflıkta izostatik grafiti benimser ve yüzeylerine yoğun bir silikon karbür koruyucu kaplama uygulayarak zorlu epitaksiyel proses ortamları için ideal seçenekler olarak hizmet etmelerini sağlar.

---

Yüksek kaliteli izostatik grafit tabanlar

Aixtron 1x4" SiC kaplı grafit tutucular, yarı iletken sınıfı izostatik grafitten hassas bir şekilde üretilmiştir. İnce tane boyutuna ve tekdüze iç özelliklere sahip olan bu grafit malzeme, aşağıdaki mükemmel performansı sunarak Aixtron 1x4" olanağı sağlar.SiC kaplı grafit tutucuGofret epitaksi işlemleri sırasında sabit bir taşıyıcı ve ısıtma tabanı sağlamak.

1. Ultra yüksek malzeme saflığı

2. Sağlam termal şok direnci

3.  Olağanüstü yüksek sıcaklık dayanımı

4.  Güvenilir kimyasal stabilite

5. Üstün termal iletkenlik

6. İzotropik özellikler ve her yönde tutarlı performans

---

Yoğun CVD SIC kaplama

Kaplamasız reaksiyon haznesinin kirlenmesini önlemek içingrafitTabanlar ve levha tutucuların hizmet ömrünü uzatan Semicorex, taban yüzeyinde tekdüze bir SiC koruyucu kaplama kaplamak için kimyasal buhar biriktirme teknolojisini benimser ve aşağıda listelenen üstün performansı sunar:

1. Geliştirilmiş korozyon direnci

YoğunCVD SiC kaplamaAixtron 1x4" SiC kaplı grafit tutucular, grafit tabanın zorlu epitaksiyel koşullarda korozyona uğramasını önleyebilen koruyucu bir bariyer görevi görür.

2. Güçlü arayüzey bağı

CVD SiC kaplama, grafit tabana sıkı bir şekilde bağlanmıştır ve epitaksiyel işlem sırasında tekrarlanan termal döngü altında bile kolayca çatlamaz veya soyulmaz.

3. Uzun servis ömrü

CVD SiC kaplamalar, grafit tabanını epitaksiyel büyüme sırasında tozlaşmaya ve korozyona karşı koruyabilir, böylece Aixtron 1x4" SiC kaplı grafit tutucuların hizmet ömrünü önemli ölçüde uzatır.

Düşünceli hizmet ve hızlı teslimat

Semicorex, müşterilerin sorularını hızlı bir şekilde yanıtlamaya ve profesyonel teknik destek sunmaya hazır, deneyimli bir ekibe sahiptir. Semicorex, entegre üretim iş akışlarımıza dayanarak, Aixtron 1x4" SiC kaplı grafit tutucuların genellikle 45-60 gün içinde verimli bir üretim teslim süresi sunar; bu da müşterilerin bekleme süresini ve proje zaman çizelgesini etkin bir şekilde kısaltır.