SiC Kaplamalı Grafit Gofret Taşıyıcılar

Yarı iletken levha imalatında, yarı iletken cihazların sonraki adımlarda üretilebilmesi için levha substratı üzerinde bir eptaksiyel katmanın büyütülmesi gerekir. Plaka alt katmanıyla doğrudan temas eden levha epitaksiyel prosesinde vazgeçilmez sarf malzemesi bileşeni olan SiC kaplı grafit levha taşıyıcılarının performansı, epitaksiyel malzeme büyümesinin tek biçimliliği ve saflığı üzerinde önemli bir etki yaratır. Bu nedenle kullanıcıların optimum SiC kaplı grafit levha taşıyıcıyı seçmesi çok önemlidir.

Gofret taşıyıcılarının tabanını üretmek için yüksek saflıkta grafitin benimsenmesi ve tekdüze bir kullanımın kullanılmasıCVD SiC kaplamaPlaka taşıyıcısına "koruyucu zırh" kazandırmak için Semicorex, zorlu epitaksiyel işlemlerde plaka alt katmanları için güvenilir yapısal destek sağlayabilen, böylece epitaksiyel malzemelerin istikrarlı ve güvenilir bir şekilde büyümesini sağlayan yüksek kaliteli bir SiC kaplı grafit plaka taşıyıcısı sunmaya kendini adamıştır.

1. Birinci sınıf grafit taban

C. Grafit taban, epitaksiyel işlemler sırasında hızlı ve eşit ısı dağılımı sağlayan üstün termal iletkenliğe sahiptir.

B. Nispeten düşük bir termal genleşme katsayısına sahip olan grafit taban,SiC kaplı grafit levha taşıyıcılarıKolayca deforme olmadan sık termal döngülere dayanabilir.

C. Grafit malzemeler mükemmel mekanik dayanıklılığa sahiptir, dolayısıyla SiC kaplı grafit levha taşıyıcılarımız uzun süreli epitaksi uygulamaları sırasında levha alt katmanlarını güvenli bir şekilde destekleyebilir.

2. Güvenilir CVD SiC Kaplama

A. Ultra yüksek temizlik

CVD SiC kaplamanın saflığı, levha taşıyıcısı ile levha substratı arasındaki kirlenmeyi en aza indiren ve böylece yarı iletken endüstrisinin katı temizlik gereksinimlerini tam olarak karşılayan ppb seviyesine ulaşabilir.

B. Güvenilir koruma

CVD SiC kaplama yoğun bir yapıya sahiptir ve grafit bazını yüksek sıcaklık ve yüksek aşındırıcı ortamlardan tamamen izole edebilir ve grafit bazın kimyasal korozyonunu ve oksidasyonunu etkili bir şekilde önleyebilir, böylece SiC kaplı grafit levha taşıyıcımızın uzun vadeli hizmette güvenilir şekilde çalışmasını sağlar.

C. Güçlü bağlanma gücü

CVD SiC kaplama olağanüstü termal iletkenlik ve grafit tabana benzer bir termal genleşme sağlar. Grafit bazlı güçlü bir bağlanma kuvveti sergiler ve dramatik sıcaklık değişimlerinde bile çatlamaya veya soyulmaya daha az eğilimlidir.