Üç Parçalı Grafit Potalar

Grafit pota genellikle tek kristal fırının merkezi destek platformuna yerleştirilir ve tek kristalde grafit ısıtıcı ile kuvars pota arasına yerleştirilir.silikonbüyüme süreci. Kuvars potasını ve erimiş silikon malzemelerini sabit bir şekilde destekleyebilirler ve bu işlem sırasında polisilikonu ısıtmak ve eritmek için sürekli olarak kuvars potaya ısı iletebilirler.

Semicorex üç parçalı grafit potaların avantajları

1. Birinci sınıf malzeme seçimi ve malzeme özellikleri

Semicorex, üç parçalı grafit potalarımızı üretmek için yüksek saflıkta grafit malzemesini kullanır; bu yüksek standartlı hammadde seçimi, potalara aşağıda listelenen mükemmel genel performansı sağlar.

A. Ultra yüksek temizlik

Safsızlık kirliliği, üretim sırasında silikon kristallerinin kafes yapısını bozan kritik bir tehlikedir. Yarı iletken dereceli yüksek saflıkta grafit malzemelerin kullanımı, tek kristalli silikon büyümesinde üç parçalı grafit potalardan safsızlık çökelmesinin neden olduğu kirlenme risklerini en aza indirebilir.

B.Üstün termal yönetim kapasitesi

Semicorex üç parçalı grafit potaların termal direnci, yüksek sıcaklıklarda istikrarlı performans sağlayarak tek kristalli silikon büyümesi için sağlam destek sağlar. Olağanüstü termal iletkenlikleri sayesinde Semicorex üç parçalı grafit potalar verimli ve tutarlı polisilikon eritme sağlayabilir.

C. Güvenilir kimyasal stabilite

Sabit kimyasal özelliklere sahip olan Semicorex üç parçalı grafit potalar, tek kristal büyümesi sırasında korozyona etkili bir şekilde direnebilir ve reaksiyon yan ürünlerinden kaynaklanan istenmeyen kirlenmeyi önleyebilir. Semicorex ayrıca müşterilerimize TaC ve SiC kaplama seçenekleri sunarak potaları yüksek korozif çalışma koşullarına uygun hale getiriyor.

2. Ustaca yapısal tasarım ve hassas işleme

Semicorex üç parçalıgrafit potalarÜç segment halinde inşa edilmiştir ve özel parçalarla bağlanır. Bu tasarım, geleneksel tek parça grafit potalara göre belirgin güçler sunar:

A.Potaların üç yapraklı bölünmüş yapısı, geleneksel tek parça grafit potaların malzeme taşıma sıkıntısını çözerek çalışma süresinden önemli ölçüde tasarruf sağlar.

B.Üç parçalı grafit potalar, tek parça değişimini destekleyerek kullanıcılar için bakım ve değiştirme maliyetlerini etkili bir şekilde azaltır.

C.Potaların üç yapraklı bölünmüş yapısı, yapısal bozulmayı önlemek için sıcaklık dalgalanmalarının neden olduğu termal gerilimi serbest bırakabilir, böylece çatlama riskleri büyük ölçüde azalır.