Hakkımızda

Semicorex Advanced Material Technology Co., Ltd, Çin'de birinci sınıf kimyasal buhar biriktirme (CVD) SiC kaplama ürünlerinin önde gelen yüksek kaliteli tedarikçisidir. Yenilikçi yarı iletken malzemelerin, özellikle SiC kaplama teknolojisinin ve bunun yarı iletken endüstrisindeki uygulamalarının araştırılmasına ve geliştirilmesine kendimizi adadık. gibi çok çeşitli yüksek kaliteli ürünler sunuyoruz.SiC kaplı grafit duyarlılar, silisyum karbür kaplı, derin UV epitaksi duyarlıları, CVD yüzey ısıtıcıları, CVD SiC gofret taşıyıcıları, gofret tekneler, birlikteyarı iletken bileşenlerVesilisyum karbür seramik ürünler.

LED çip epitaksisinde ve silikon tek kristal alt tabakalarda kullanılan SiC ince filmi, elmasla aynı kristal kafes yapısına sahip bir kübik faza sahiptir ve sertlik açısından elmastan sonra ikinci sıradadır. SiC, yarı iletken elektronik endüstrisinde muazzam uygulama potansiyeline sahip, yaygın olarak tanınan geniş bant aralıklı bir yarı iletken malzemedir ve yüksek termal iletkenlik, düşük termal genleşme katsayısı ve yüksek sıcaklık direnci ve korozyon direnci gibi mükemmel fiziksel ve kimyasal özelliklere sahiptir.

Elektronik cihazların üretiminde, gofretlerin grafit duyarlılar üzerinde taşındığı silikon epitaksi de dahil olmak üzere birçok aşamadan geçmesi gerekir. Duyarlıların kalitesi ve özellikleri, gofretin epitaksiyel tabakasının kalitesinde çok önemli bir rol oynar. Grafit taban, MOCVD ekipmanının temel bileşenlerinden biridir ve alt tabakanın taşıyıcısı ve ısıtıcısıdır. Termal homojenlik gibi termal olarak kararlı Performans parametreleri, epitaksiyel malzeme büyümesinin kalitesinde belirleyici bir rol oynar ve ortalama Homojenliği ve saflığı doğrudan belirler.

Semicorex'te, sinterlenmiş SiC malzemelerine kıyasla daha yüksek saflığa sahip olan yüksek mukavemetli izostatik grafit üzerinde yoğun β-SiC filmler üretmek için CVD kullanıyoruz. SiC kaplı grafit sensörler gibi ürünlerimiz, grafit tabanı özel özelliklerle donatarak grafit tabanın yüzeyini kompakt, pürüzsüz ve gözeneksiz, üstün ısıya dayanıklı, termal tekdüzelik, korozyona dayanıklı ve oksidasyona dayanıklı hale getirir.

SiC kaplama teknolojisi, özellikle LED epitaksiyel taşıyıcılarda ve Si tek kristal epitakside yaygın kullanım kazanmıştır. Yarı iletken endüstrisinin hızlı büyümesiyle birlikte SiC kaplama teknolojisi ve ürünlerine olan talep önemli ölçüde arttı. SiC kaplama ürünlerimiz, havacılık, fotovoltaik endüstrisi, nükleer enerji, hızlı tren, otomotiv ve diğer endüstrilerde geniş bir uygulama alanına sahiptir.

Ürün uygulaması

LED IC epitaksi

Tek kristal silikon epitaksi

RTP/TRA gofret taşıyıcıları

ICP/PSS aşındırma

plazma aşındırma

SiC epitaksi

Monokristal silikon epitaksi

Silikon tabanlı GaN epitaksisi

Derin UV epitaksisi

yarı iletken aşındırma

fotovoltaik endüstrisi

SiC Epitaksiyel CVD sistemi

SiC epitaksiyel film büyütme ekipmanı

MOCVD reaktörü

MOCVD sistemi

CVD ekipmanı

PECVD sistemleri

LPE sistemleri

Aixtron sistemleri

Nuflare sistemleri

TEL CVD sistemleri

Vecco sistemleri

TSI sistemleri