TaC kaplama grafiti, yüksek saflıkta bir grafit alt tabakanın yüzeyinin, özel bir Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) işlemiyle ince bir tantal karbür tabakasıyla kaplanmasıyla oluşturulur.
Tantal karbür (TaC), tantal ve karbondan oluşan bir bileşiktir. Metalik elektrik iletkenliğine ve son derece yüksek bir erime noktasına sahiptir; bu da onu gücü, sertliği, ısı ve aşınma direnciyle bilinen refrakter bir seramik malzeme haline getirir. Tantal Karbürlerin erime noktası saflığa bağlı olarak yaklaşık 3880°C'ye ulaşır ve ikili bileşikler arasında en yüksek erime noktalarından birine sahiptir. Bu, MOCVD ve LPE gibi bileşik yarı iletken epitaksiyel işlemlerde kullanılan performans yeteneklerini yüksek sıcaklık taleplerinin aştığı durumlarda onu çekici bir alternatif haline getirir.
Semicorex TaC Kaplamanın malzeme verileri
Projeler |
Parametreler |
Yoğunluk |
14,3 (gram/cm³) |
Emissivite |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Sertlik (HK) |
2000 |
Direnç (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Termal Kararlılık |
<2500°C |
Grafit Boyut Değişikliği |
-10~-20um (referans değeri) |
Kaplama Kalınlığı |
≥20um tipik değer (35um±10um) |
|
|
Yukarıdakiler tipik değerlerdir |
|
LPE için Semicorex Halfmoon Parçası, LPE reaktörlerinde kullanılmak üzere tasarlanmış ve SiC epitaksi süreçlerinde kritik bir rol oynayan TaC kaplı bir grafit bileşenidir. Zorlu yarı iletken üretim ortamlarında optimum performans ve güvenilirlik sağlayan yüksek kaliteli, dayanıklı bileşenleri nedeniyle Semicorex'i seçin.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex TaC Plakası, SiC epitaksi büyüme süreçlerinde kullanılmak üzere tasarlanmış yüksek performanslı, TaC kaplı bir grafit bileşenidir. Yarı iletken üretim ekipmanınızın performansını ve ömrünü optimize eden güvenilir, yüksek kaliteli malzemeler üretme konusundaki uzmanlığı nedeniyle Semicorex'i seçin.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex TaC Kaplamalı Grafit Parça, SiC kristal büyütme ve epitaksi işlemlerinde kullanılmak üzere tasarlanmış, termal stabiliteyi ve kimyasal direnci artıran dayanıklı bir Tantal Karbür kaplamaya sahip, yüksek performanslı bir bileşendir. Yenilikçi çözümlerimiz, üstün ürün kalitemiz ve yarı iletken endüstrisinin zorlu ihtiyaçlarını karşılamak üzere tasarlanmış güvenilir, uzun ömürlü bileşenler sağlama konusundaki uzmanlığımız için Semicorex'i seçin.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex TaC Kaplamalı Grafit Chuck, yarı iletken üretiminde hassas levha işleme ve yüksek sıcaklıktaki işlemler için tasarlanmış yüksek performanslı bir bileşendir. Zorlu yarı iletken uygulamalarında optimum performans ve uzun ömür sağlayan yenilikçi, dayanıklı ürünleri için Semicorex'i seçin.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex TaC halkası, SiC tek kristal büyümesi için tasarlanmış, optimum gaz akışı dağılımı ve sıcaklık kontrolü sağlayan yüksek performanslı bir bileşendir. Yarı iletken süreçlerinizin verimliliğini ve kalitesini artıran dayanıklı ve güvenilir çözümler sunan ileri malzeme ve hassas mühendislik alanındaki uzmanlığımız için Semicorex'i seçin.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex Tantal Karbür Parçası, silikon karbür (SiC) kristal büyütme uygulamalarında yüksek performanslı kullanım için tasarlanmış, mükemmel sıcaklık ve kimyasal direnç sunan TaC kaplı bir grafit bileşenidir. Yarı iletken üretiminde kristal kalitesini ve üretim verimliliğini artıran güvenilir, yüksek kaliteli bileşenler için Semicorex'i seçin.*
Devamını okuTalep Gönder