TaC kaplama grafiti, yüksek saflıkta bir grafit alt tabakanın yüzeyinin, özel bir Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) işlemiyle ince bir tantal karbür tabakasıyla kaplanmasıyla oluşturulur.
Tantal karbür (TaC), tantal ve karbondan oluşan bir bileşiktir. Metalik elektrik iletkenliğine ve son derece yüksek bir erime noktasına sahiptir; bu da onu gücü, sertliği, ısı ve aşınma direnciyle bilinen refrakter bir seramik malzeme haline getirir. Tantal Karbürlerin erime noktası saflığa bağlı olarak yaklaşık 3880°C'ye ulaşır ve ikili bileşikler arasında en yüksek erime noktalarından birine sahiptir. Bu, MOCVD ve LPE gibi bileşik yarı iletken epitaksiyel işlemlerde kullanılan performans yeteneklerini yüksek sıcaklık taleplerinin aştığı durumlarda onu çekici bir alternatif haline getirir.
Semicorex TaC Kaplamanın malzeme verileri
|
Projeler |
Parametreler |
|
Yoğunluk |
14,3 (gram/cm³) |
|
Emissivite |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Sertlik (HK) |
2000 |
|
Direnç (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Termal Kararlılık |
<2500°C |
|
Grafit Boyut Değişikliği |
-10~-20um (referans değeri) |
|
Kaplama Kalınlığı |
≥20um tipik değer (35um±10um) |
|
|
|
|
Yukarıdakiler tipik değerlerdir |
|
Semicorex Gözenekli Tantal Karbür Halkalar, Silisyum Karbür (SiC) kristal büyümesinin Fiziksel Buhar Taşıma (PVT) işlemi için özel olarak tasarlanmış, olağanüstü termal stabilite ve kontrollü gaz geçirgenliği sunan monolitik sinterlenmiş bir yapıya sahip, yüksek performanslı refrakter bileşenlerdir.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex TaC kaplı grafit plaka tutucuları, gelişmiş yarı iletken epitaksiyel işlemler sırasında yarı iletken plakaları stabil bir şekilde desteklemek ve konumlandırmak için tipik olarak uygulanan son teknoloji bileşenlerdir. En son üretim teknolojilerinden ve olgun üretim deneyiminden yararlanan Semicorex, değerli müşterilerimiz için özel olarak tasarlanmış TaC kaplı grafit levha tutucuları pazar lideri kalitede tedarik etmeye kendini adamıştır.
Devamını okuTalep GönderSemicorex CVD TaC Kaplamalı Süseptörler, zorlu SiC epitaksiyel büyüme süreçleri için mükemmel termal tekdüzelik ve korozyon direnci sağlamak üzere tasarlanmış, yoğun TaC kaplamalı yüksek performanslı grafit şüphecilerdir. Semicorex, küresel SiC epi üreticilerinin güvendiği uzun ömürlü, düşük kontaminasyona sahip süseptörler sağlamak için gelişmiş CVD kaplama teknolojisini sıkı kalite kontrolüyle birleştirir.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex tantal karbür kaplı kılavuz halkalar, yarı iletken kristal büyütme ekipmanında kullanılan yüksek performanslı halka bileşenleridir. Kristal büyümesi sırasında uygun bir sıcaklık gradyanı ve stabil hava akışı ortamı oluşturmak için özel olarak tasarlanmıştır. Semicorex tantal karbür kaplı kılavuz halkaları seçerek benzersiz kaplama teknolojisinden ve yüksek verimli ve istikrarlı bir üretim deneyiminden yararlanacaksınız.
Devamını okuTalep GönderSemicorex TaC Kaplamalı Grafit Pota, yarı iletken üretim sürecinde uygulanan en uygun malzeme olan CVD yöntemiyle Tantal Karbür kaplama grafitinden yapılır. Semicorex, CVD seramik kaplama konusunda sürekli olarak uzmanlaşan ve yarı iletken endüstrisinde en iyi malzeme çözümlerini sunan bir şirkettir.*
Devamını okuTalep GönderEpitaksiyel Büyümede Semicorex TaC Kaplamalı Bileşenler, yarı iletkendeki epitaksiyel işlemde hava girişinde yer alan değerli işlenmiş bir parçadır. Semicorex, Çin'de CVD TaC kaplama teknolojisinde uzmanlaşmış ve dünya çapında ürün ihraç eden birinci sınıf bir şirkettir.*
Devamını okuTalep Gönder