Semicorex, yarı iletken işlemede iyileştirme ortağınızdır. Silisyum karbür kaplamalarımız yoğun, yüksek sıcaklığa ve kimyasallara dayanıklıdır ve yarı iletken levha ve levha işleme ve yarı iletken imalatı da dahil olmak üzere yarı iletken imalatının tüm döngüsünde sıklıkla kullanılır.
Yüksek saflıkta SiC seramik bileşenler yarı iletkendeki işlemler için çok önemlidir. Teklifimiz Epitaxy veya MOCVD için Silisyum Karbür gofret teknesi, konsol kürekleri, tüpler vb. gibi gofret işleme ekipmanlarına yönelik sarf malzemeleri parçalarından oluşmaktadır.
Yarı iletken proseslerin avantajları
Epitaksi veya MOCVD gibi ince film biriktirme aşamaları veya dağlama veya iyon implantasyonu gibi levha işleme işlemleri, yüksek sıcaklıklara ve sert kimyasal temizliğe dayanmalıdır. Semicorex, yüksek saflıkta silisyum karbür (SiC) yapı sağlar; üstün ısı direnci ve dayanıklı kimyasal direnç, hatta tutarlı epi katman kalınlığı ve direnci için termal tekdüzelik sağlar.
Hazne Kapakları →
Kristal büyütme ve levha işleme prosesinde kullanılan Hazne Kapakları, yüksek sıcaklıklara ve sert kimyasal temizlemeye dayanıklı olmalıdır.
Konsol Kürek →
Konsol Paddle, yarı iletken üretim süreçlerinde, özellikle difüzyon veya LPCVD fırınlarında difüzyon ve RTP gibi işlemler sırasında kullanılan çok önemli bir bileşendir.
Proses Tüpü →
Proses Tüpü, RTP, difüzyon gibi çeşitli yarı iletken işleme uygulamalarında özel olarak tasarlanmış çok önemli bir bileşendir.
Gofret Tekneleri →
Yarı iletken işlemede kullanılan Gofret Teknesi, hassas gofretlerin üretimin kritik aşamalarında güvende tutulmasını sağlamak için titizlikle tasarlanmıştır.
Giriş Halkaları →
MOCVD ekipmanı tarafından SiC kaplı gaz giriş halkası Bileşik büyümesi, zorlu ortamlarda büyük stabiliteye sahip olan yüksek ısı ve korozyon direncine sahiptir.
Odak Halkası →
Semicorex, Silikon Karbür Kaplamalı odak halkası RTA, RTP veya sert kimyasal temizlik için gerçekten dayanıklıdır.
Gofret Aynası →
Semicorex ultra düz seramik vakumlu gofret aynaları, gofret işleme prosesinde kullanılan yüksek saflıkta SiC kaplıdır.
Semicorex'in ayrıca Alümina (Al2O3), Silikon Nitrür (Si3N4), Alüminyum Nitrür (AIN), Zirkonya (ZrO2), Kompozit Seramik vb. malzemelerden yapılmış seramik ürünleri de bulunmaktadır.
Aşırı sıcaklık uygulamaları için özel olarak tasarlanan Sıcak Preslenmiş Bor Nitrür Potaları, hem metal eritme ve buharlaştırma işlemleri hem de yarı iletken kristal büyütme işlemleri için mükemmel çözümler sunan vazgeçilmez seramik kaplardır.
Devamını okuTalep GönderYüksek kaliteli silisyum karbür malzemelerden üretilen SIC termokupl koruma tüpleri, termokuplların zorlu yüksek sıcaklıktaki ortamlarda normal şekilde çalışmasını önlemek için kullanılan gelişmiş seramik çözümlerdir. Tutarlı kalite, uygun maliyetli fiyat ve maksimum soğutma verimliliği sağlayan hassas tasarımlı SIC termokupl koruma tüpleri için Semicorex'i seçin.
Devamını okuTalep GönderYüksek performanslı silisyum karbür seramikten üretilen silisyum karbür soğutma kanalları, yüksek sıcaklıklı endüstriyel fırınların soğutma işlemlerinde kullanılan performanslı boru bileşenleridir. Tutarlı kalite, uygun maliyetli fiyat ve maksimum soğutma verimliliği sağlayan hassas mühendislik ürünü Silisyum karbür soğutma kanalları için Semicorex'i seçin.
Devamını okuTalep GönderSemicorex Karbon Seramik Fren, yüksek sıcaklıktaki çalışma ortamına son derece uygun, gelişmiş bir malzeme olan gelişmiş karbon seramik kompozitlerden yapılmıştır. Semicorex, uygulamalara ve müşterilerin gereksinimlerine göre özelleştirilmiş ürünler sunar.*
Devamını okuTalep GönderSilisyum Karbür ICP Aşındırma Plakası, yüksek saflıkta sinterlenmiş silisyum karbür seramikten üretilen vazgeçilmez levha tutucudur. Semicorex tarafından özel olarak tasarlanan bu ürün, son teknoloji yarı iletken endüstrisinde endüktif olarak eşleşmiş plazma (ICP) aşındırma ve biriktirme sistemleri için önemli kolaylaştırıcılar olarak hizmet vermektedir.
Devamını okuTalep GönderSemicorex'in alüminyum nitrür potaları, zorlu yüksek sıcaklık ortamlarında uygulanan yüksek performanslı reaksiyon kapları olan yarı iletken sınıfı AlN seramiklerinden üretilir. Semicorex, hem büyük ölçekli siparişleri hem de küçük partili prototip ihtiyaçlarını karşılayarak müşteri gereksinimlerine göre özelleştirilmiş üretim sunuyor.
Devamını okuTalep Gönder