Çin Özel grafit Üreticiler, Tedarikçiler, Fabrika

Özel grafit, işlenen bir tür yapay grafittir. Kristal büyüme, iyon implantasyonu, epitaksi vb. Dahil yarı iletken ve fotovoltaik üretim sürecinin tüm yönlerinde vazgeçilmez olan önemli bir malzemedir.

1. silikon karbür (sic) kristal büyümesi

Üçüncü nesil yarı iletken malzeme olarak silikon karbür, yeni enerji araçlarında, 5G iletişimlerinde ve diğer alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır. 6 inç ve 8 inçlik SIC kristal büyüme işleminde, izostatik grafit esas olarak aşağıdaki anahtar bileşenleri üretmek için kullanılır:

Grafit Pota: Bu, SIC tozu hammaddesini sentezlemek ve ayrıca yüksek sıcaklıklarda kristal büyümesine yardımcı olmak için kullanılabilir. Yüksek saflığı, yüksek sıcaklık direnci ve termal şok direnci kararlı bir kristal büyüme ortamı sağlar.

Grafit Isıtıcı: Bu, yüksek kaliteli SIC kristal büyümesi sağlayarak düzgün ısı dağılımı sağlar.

Yalıtım tüpü: Bu, kristal büyüme fırını içindeki sıcaklık homojenliğini korur ve ısı kaybını azaltır.

2. iyon implantasyonu

İyon implantasyonu, yarı iletken üretiminde önemli bir işlemdir. İzostatik grafit öncelikle iyon implanters'da aşağıdaki bileşenleri üretmek için kullanılır:

Grafit Getter: Bu, iyon saflığını sağlayarak iyon ışığında safsızlık iyonlarını emer.

Grafit Odaklanma Halkası: Bu iyon ışını odaklanır, iyon implant doğruluğunu ve verimliliğini artırır. Grafit substrat tepsileri: Silikon gofretleri desteklemek ve iyon implantasyonu sırasında stabilite ve tutarlılığı korumak için kullanılır.

3. Epitaksi süreci

Epitaksi işlemi, yarı iletken cihaz üretiminde kritik bir adımdır. İzostatik olarak preslenmiş grafit esas olarak epitaksi fırınlarında aşağıdaki bileşenleri üretmek için kullanılır:

Grafit tepsileri ve duyucular: Silikon gofretleri desteklemek için kullanılır, epitaksi işlemi sırasında kararlı destek ve düzgün ısı iletimi sağlar.

4. Diğer yarı iletken üretim uygulamaları

İzostatik olarak preslenmiş grafit, aşağıdaki yarı iletken üretim uygulamalarında da yaygın olarak kullanılmaktadır:

Drings işlemi: Grafit elektrotları ve gravürler için koruyucu bileşenler üretmek için kullanılır. Korozyon direnci ve yüksek saflığı, dağlama işleminde stabilite ve hassasiyet sağlar.

Kimyasal buhar birikimi (CVD): CVD fırınlarındaki grafit tepsileri ve ısıtıcılar üretmek için kullanılır. Yüksek termal iletkenliği ve yüksek sıcaklık direnci düzgün ince film birikimi sağlar.

Ambalaj testi: Test armatürleri ve taşıyıcı tepsileri üretmek için kullanılır. Yüksek hassasiyeti ve düşük kontaminasyonu doğru test sonuçları sağlar.

Grafit parçalarının avantajları

Yüksek Saflık:

Son derece düşük safsızlık içeriğine sahip yüksek saflıkta izostatik olarak preslenmiş grafit malzeme kullanılarak, yarı iletken üretiminin katı malzeme saflık gereksinimlerini karşılar. Şirketin kendi saflaştırma fırını grafiti 5ppm'nin altına saflaştırabilir.

Yüksek hassasiyet:

Gelişmiş işleme ekipmanı ve olgun işleme teknolojisi ile, ürünün boyutsal doğruluğunun, form ve konum toleranslarının mikron seviyesine ulaşmasını sağlar.

Yüksek Performans:

Ürün, yarı iletken üretiminin çeşitli sert çalışma koşullarını karşılayan mükemmel yüksek sıcaklık direnci, korozyon direnci, radyasyon direnci, yüksek termal iletkenlik ve diğer özelliklere sahiptir.

Özelleştirilmiş Hizmet:

Özelleştirilmiş ürün tasarımı ve işleme hizmetleri, farklı uygulama senaryolarının ihtiyaçlarını karşılamak için müşteri ihtiyaçlarına göre sağlanabilir.

Grafit ürün türleri

(1) İzostatik grafit
İzostatik grafit ürünleri soğuk izostatik pres ile üretilir. Diğer şekillendirme yöntemleriyle karşılaştırıldığında, bu işlem tarafından üretilen hükmün mükemmel bir stabiliteye sahiptir. SIC tek kristalleri için gereken grafit ürünlerinin hepsi büyüktür, bu da yüzeyde ve grafit ürünlerinin iç kısmında, kullanım gereksinimlerini karşılayamayan eşit olmayan bir saflığa yol açacaktır. SIC tek kristalleri için gerekli olan büyük boyutlu grafit ürünlerin derin saflaştırma gereksinimlerini karşılamak için, büyük boyutlu veya özel şekilli grafit ürünlerinin derin ve muntazam saflaştırılmasını sağlamak için benzersiz bir yüksek sıcaklıklı termokimyasal nabız saflaştırma işlemi benimsenmelidir, böylece ürün yüzeyi ve çekirdeğinin saflığı kullanım gereksinimlerini karşılayabilir.

(2) gözenekli grafit
Gözenekli grafit, yüksek gözenekliliğe ve düşük yoğunluğa sahip bir grafit türüdür. SIC kristal büyüme sürecinde, gözenekli grafit, kütle transferi homojenliğini iyileştirmede önemli bir rol oynar, faz değişiminin oluşum oranını azaltır ve kristal şeklini iyileştirir.
Gözenekli grafit kullanımı, hammadde alanının sıcaklık ve sıcaklık homojenliğini iyileştirir, potadaki eksenel sıcaklık farkını arttırır ve ayrıca hammadde yüzeyinin yeniden kristalleşmesini zayıflatma üzerinde belirli bir etkiye sahiptir; Büyüme odasında gözenekli grafit, büyüme süreci boyunca malzeme akışının stabilitesini artırır, büyüme alanının C/Si oranını arttırır, faz değişim olasılığını azaltmaya yardımcı olur ve aynı zamanda, gözenekli grafit de kristal arayüzün iyileştirilmesinde rol oynar.

(3) keçe
Yumuşak keçe ve sert keçe, hem sic kristal büyümesi ve epitaksiyal bağlantılarda önemli termal yalıtım malzemelerinin rolünü oynar.

(4) Grafit folyo
Grafit kağıdı, kimyasal işlem ve yüksek sıcaklık yuvarlanması yoluyla yüksek karbonlu pul grafitten yapılmış fonksiyonel bir malzemedir. Yüksek termal iletkenliğe, elektriksel iletkenliğe, esnekliğe ve korozyon direncine sahiptir.

(5) Kompozit malzemeler
Karbon-karbon termal alanı, fotovoltaik tek kristal fırın üretiminde temel sarf malzemelerinden biridir.

Semicorex üretimi

Semicorex, küçük parti, özelleştirilmiş üretim yöntemleriyle grafit yapar. Küçük parti üretimi ürünleri daha kontrol edilebilir hale getirir. Tüm işlem programlanabilir mantık denetleyicileri (PLC'ler) tarafından kontrol edilir, ayrıntılı işlem verileri kaydedildi ve tam yaşam döngüsü izlenebilirliği sağladı.

Tüm kavurma işlemi boyunca, farklı konumlarda direnç içinde elde edilen tutarlılık ve sıkı sıcaklık kontrolü korundu. Bu, grafit malzemelerin homojenliğini ve güvenilirliğini sağlar.

Semicorex, diğer tedarikçilerden farklı olan tam izostatik presleme teknolojisini kullanır; Grafitin ultra üniformanın kendisi olduğu ve epitaksiyal süreçlerde özellikle önemli olduğu anlamına gelir. Yoğunluk, özdirenç, sertlik, bükülme mukavemeti ve farklı numuneler arasında mukavemet dahil olmak üzere kapsamlı malzeme homojenlik testleri yapıldı.