Odak halkası veya kenar halkaları, gofret kenarı veya çevresi etrafındaki aşındırma homojenliğini iyileştirmek için tasarlanmıştır.
Semicorex odak halkaları, kimyasal buhar biriktirme (CVD) kullanılarak kaplanan silisyum karbür olup, üstün ısı direnci, tutarlı epi tabakası kalınlığı ve direnci için termal tekdüzelik ve plazma aşındırma veya kuru aşındırma işlemindeki aşırı ortamlara dayanacak şekilde üretilmiş dayanıklı kimyasal direnç sağlar. .
Yarı iletken işlemeye yönelik Semicorex dayanıklı odak halkaları, yarı iletken işlemede kullanılan plazma dağlama odalarının zorlu ortamlarına dayanacak şekilde tasarlanmıştır. Odak halkalarımız, yoğun, aşınmaya dayanıklı silisyum karbür (SiC) kaplama ile kaplanmış yüksek saflıkta grafitten yapılmıştır. SiC kaplama, mükemmel termal iletkenliğin yanı sıra yüksek korozyon ve ısı direnci özelliklerine sahiptir. Odak halkalarımızın hizmet ömrünü artırmak için kimyasal buhar biriktirme (CVD) sürecini kullanarak SiC'yi grafit üzerine ince katmanlar halinde uyguluyoruz.
Devamını okuTalep GönderSemicorex Plazma işleme odak halkası, yarı iletken endüstrisindeki plazma dağlama işlemenin yüksek taleplerini karşılamak için özel olarak tasarlanmıştır. Gelişmiş, yüksek saflıkta Silisyum Karbür Kaplı Bileşenlerimiz, zorlu ortamlara dayanacak şekilde üretilmiştir ve silisyum karbür katmanlar ve epitaksi yarı iletkenler dahil olmak üzere çeşitli uygulamalarda kullanıma uygundur.
Devamını okuTalep GönderSemicorex gelişmiş, yüksek saflıkta SiC Odak Halkaları, plazma dağlama (veya kuru asitleme) odalarındaki aşırı ortamlara dayanacak şekilde üretilmiştir. Silisyum karbür katmanlar ve epitaksi yarı iletken gibi yarı iletken endüstrilerine odaklanıyoruz. Ürünlerimiz iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.
Devamını okuTalep Gönder