Odak halkası veya kenar halkaları, levha kenarı veya çevresi etrafındaki aşındırma homojenliğini geliştirmek için tasarlanmıştır.
Semicorex odak halkaları, kimyasal buhar biriktirme (CVD) kullanılarak silisyum karbür kaplı olup, tutarlı epi katman kalınlığı ve direnci için üstün ısı direnci, hatta termal tekdüzelik ve plazma dağlama veya kuru dağlama işlemindeki zorlu ortamlara dayanacak şekilde tasarlanmış dayanıklı kimyasal direnç sağlar. .