Odak halkası veya kenar halkaları, levha kenarı veya çevresi etrafındaki aşındırma homojenliğini geliştirmek için tasarlanmıştır.
Semicorex odak halkaları, kimyasal buhar biriktirme (CVD) kullanılarak silisyum karbür kaplı olup, tutarlı epi katman kalınlığı ve direnci için üstün ısı direnci, hatta termal tekdüzelik ve plazma dağlama veya kuru dağlama işlemindeki zorlu ortamlara dayanacak şekilde tasarlanmış dayanıklı kimyasal direnç sağlar. .
Semicorex SiC Odak Halkası, yarı iletken üretiminde plazma dağıtımını ve levha prosesi tekdüzeliğini optimize etmek için tasarlanmış yüksek saflıkta silisyum karbür halka bileşenidir. Semicorex'i seçmek, tutarlı kalite, gelişmiş malzeme mühendisliği ve dünya çapında lider yarı iletken fabrikalarının güvendiği güvenilir performansı sağlamak anlamına gelir.*
Devamını okuTalep Gönder