Kristal büyüme fırını, silikon karbür kristallerinin büyümesi için çekirdek ekipmandır. Geleneksel kristalli silikon dereceli kristal büyüme fırına benzer. Fırın yapısı çok karmaşık değildir. Esas olarak fırın gövdesi, ısıtma sistemi, bobin iletim mekanizması, vakum edinme ve ölçüm sistemi, gaz yolu......
Devamını oku