Yarı iletken işlemede kullanılan yuvarlak şekilli gofret taşıyıcısı olan yassı tutucu.
Epitaksi, yarı iletken levhalar üzerinde epitaksiyel tabakayı büyüten, yarı iletken levhaların grafit tutucular üzerinde taşındığı yarı iletken işlemede çok önemli bir adımdır. Grafit tutucuların nitelikleri, epi-wafer'ların kalitesi için önemli etkenlerdir.
Silisyum karbür kaplamalı grafit tutucular
Semicorex, aşağıdakiler de dahil olmak üzere tüm epitaksi reaktörleri için suseptörler ve bileşenler sağlar:varil sensörlerive gözleme suseptörleri. Yüksek saflıkta grafit ve CVD SiC kaplama kullanıyoruz.