Semicorex RTP taşıyıcı, RTA, RTP veya sert kimyasal temizlemeye karşı gerçekten dayanıklı olan kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemi kullanılarak kaplanmış silisyum karbürdür. Yarı iletken işleminin merkezinde, epitaksi tutucular ilk olarak biriktirme ortamına tabi tutulur, bu nedenle yüksek ısı ve korozyon direncine sahiptir. SiC kaplı taşıyıcı ayrıca yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
● Yüksek saflıkta SiC kaplı grafit
● Üstün ısı direnci ve kimyasal direnç
● Yüksek termal homojenlik
● Mükemmel aşınma direnci