Semicorex'in RTP Grafit Taşıyıcı Plakası, epitaksiyel büyüme ve levha işleme işlemleri de dahil olmak üzere yarı iletken levha işleme uygulamaları için mükemmel bir çözümdür. Ürünümüz, epitaksi suseptörlerin yüksek ısı ve korozyon direnciyle biriktirme ortamına maruz kalmasını sağlayarak üstün ısı direnci ve termal tekdüzelik sunacak şekilde tasarlanmıştır.
Ürünümüz, mükemmel ısı dağıtım özellikleri sunan yüksek saflıkta SiC kaplı grafit içerir ve SiC kaplı taşıyıcının çatlak ve delaminasyon içermeyen pürüzsüz bir yüzeye sahip olmasını sağlar. RTP Grafit Taşıyıcı Plakamız ince silisyum karbür kaplamalıdır ve yüzeyin pürüzsüz ve her türlü kusurdan arınmış olmasını sağlar. Sert kimyasal temizliklere karşı oldukça dayanıklı olan bu ürün, çatlak ve delaminasyon oluşmamasını sağlayacak şekilde tasarlanmıştır.
Rakiplerimizin karşılayamayacağı bir fiyat avantajı sunuyoruz ve Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmaya kararlıyız.
RTP grafit taşıyıcı plakamızla mükemmel performans, üstün ısı direnci ve termal homojenlik sağlayacağınızdan emin olabilirsiniz. SiC kaplı taşıyıcı, yüksek sıcaklıklara dayanacak şekilde tasarlanmış olup, kimyasal temizliğe karşı oldukça dayanıklı olduğundan uzun yıllar dayanmasını sağlar. Ürünümüz aynı zamanda kullanımı kolay olacak şekilde tasarlanmış olduğundan hem yeni hem de deneyimli kullanıcılar için idealdir.
Semicorex olarak müşterilerimize yüksek kaliteli ürünler ve hizmetler sunmaya kendimizi adadık. Yalnızca en iyi malzemeleri kullanıyoruz ve ürünlerimiz en yüksek kalite ve performans standartlarını karşılayacak şekilde tasarlanıyor. RTP Grafit Taşıyıcı Plakamız da bir istisna değildir. Yarı iletken levha işleme ihtiyaçlarınızda size nasıl yardımcı olabileceğimiz hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bizimle iletişime geçin.
RTP Grafit Taşıyıcı Plakanın Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal Yapısı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane Boyutu |
μm |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı Kapasitesi |
J kg-1 K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Dayanım |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
Young Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Isı iletkenliği |
(W/mK) |
300 |
RTP Grafit Taşıyıcı Plakanın Özellikleri
Yüksek saflıkta SiC kaplı grafit
Üstün ısı direnci ve termal homojenlik
Pürüzsüz bir yüzey için ince SiC kristal kaplı
Kimyasal temizlemeye karşı yüksek dayanıklılık
Malzeme çatlama ve delaminasyon oluşmayacak şekilde tasarlanmıştır.