MOCVD Epitaksiyel Büyüme için RTP Taşıyıcı

MOCVD Epitaksiyel Büyüme için Semicorex RTP Taşıyıcı, epitaksiyel büyüme ve levha işleme işleme dahil olmak üzere yarı iletken levha işleme uygulamaları için idealdir. Karbon grafit tutucular ve kuvars potalar MOCVD tarafından grafit, seramik vb. yüzeylerde işlenir. Ürünlerimiz iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Semicorex, RTA, RTP veya sert kimyasal temizlik için gerçekten dayanıklı olan, levhaları desteklemek için kullanılan MOCVD Epitaksiyel Büyüme için RTP Taşıyıcı sağlar. Prosesin temelinde epitaksi tutucular ilk olarak biriktirme ortamına tabi tutulur, bu nedenle yüksek ısı ve korozyon direncine sahiptir. SiC kaplı taşıyıcı ayrıca yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
MOCVD Epitaksiyel Büyüme için RTP Taşıyıcımız, termal profilin düzgünlüğünü sağlayarak en iyi laminer gaz akış modelini elde edecek şekilde tasarlanmıştır. Bu, levha çipinde yüksek kaliteli epitaksiyel büyüme sağlayarak herhangi bir kirlenmenin veya yabancı maddelerin yayılmasının önlenmesine yardımcı olur.
MOCVD Epitaksiyel Büyümeye yönelik RTP Taşıyıcımız hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bizimle iletişime geçin.

MOCVD Epitaksiyel Büyüme için RTP Taşıyıcısının Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal Yapısı	FCC β fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane Boyutu	μm	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı Kapasitesi	J kg-1 K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Dayanım	MPa (RT 4 nokta)	415
Young Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300°C)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Isı iletkenliği	(W/mK)	300

MOCVD Epitaksiyel Büyüme için RTP Taşıyıcısının Özellikleri

Yüksek saflıkta SiC kaplı grafit
Üstün ısı direnci ve termal homojenlik
Pürüzsüz bir yüzey için ince SiC kristal kaplı
Kimyasal temizlemeye karşı yüksek dayanıklılık
Malzeme çatlama ve delaminasyon oluşmayacak şekilde tasarlanmıştır.