Epitaksiyel Büyüme için SiC Kaplamalı RTP Taşıyıcı Plaka

Epitaksiyel Büyüme için Semicorex SiC Kaplamalı RTP Taşıyıcı Plaka, yarı iletken levha işleme uygulamaları için mükemmel çözümdür. MOCVD tarafından grafit, seramik vb. yüzeyinde işlenen yüksek kaliteli karbon grafit tutucuları ve kuvars potaları ile bu ürün, levha işleme ve epitaksiyel büyüme işleme için idealdir. SiC kaplamalı taşıyıcı, yüksek termal iletkenlik ve mükemmel ısı dağıtım özellikleri sağlayarak onu RTA, RTP veya sert kimyasal temizlik için güvenilir bir seçim haline getirir.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Epitaksiyel Büyüme için SiC Kaplamalı RTP Taşıyıcı Plakamız, biriktirme ortamının en zorlu koşullarına dayanacak şekilde tasarlanmıştır. Yüksek ısıya ve korozyon direncine sahip olan epitaksi suseptörleri, epitaksiyel büyüme için mükemmel bir biriktirme ortamına tabi tutulur. Taşıyıcı üzerindeki ince SiC kristal kaplama, pürüzsüz bir yüzey ve kimyasal temizliğe karşı yüksek dayanıklılık sağlarken, malzeme çatlakları ve delaminasyonu önleyecek şekilde tasarlanmıştır.
Epitaksiyel Büyümeye yönelik SiC Kaplamalı RTP Taşıyıcı Plakamız hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bizimle iletişime geçin.

Epitaksiyel Büyüme için SiC Kaplamalı RTP Taşıyıcı Plakanın Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal Yapısı	FCC β fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane Boyutu	μm	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı Kapasitesi	J kg-1 K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Dayanım	MPa (RT 4 nokta)	415
Young Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300°C)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Isı iletkenliği	(W/mK)	300

Epitaksiyel Büyüme için SiC Kaplamalı RTP Taşıyıcı Plakanın Özellikleri

Yüksek saflıkta SiC kaplı grafit
Üstün ısı direnci ve termal homojenlik
Pürüzsüz bir yüzey için ince SiC kristal kaplı
Kimyasal temizlemeye karşı yüksek dayanıklılık
Malzeme çatlak ve delaminasyon oluşmayacak şekilde tasarlanmıştır.

Sıcak Etiketler: Epitaksiyel Büyüme için SiC Kaplamalı RTP Taşıyıcı Plaka, Çin, Üreticiler, Tedarikçiler, Fabrika, Özelleştirilmiş, Toplu, Gelişmiş, Dayanıklı

Ürün Etiketi

İlgili Kategori