RTP SiC Kaplama Taşıyıcı

Semicorex RTP SiC Kaplama Taşıyıcı üstün ısı direnci ve termal tekdüzelik sunarak yarı iletken levha işleme uygulamaları için mükemmel çözüm haline gelir. Yüksek kaliteli SiC kaplı grafiti ile bu ürün, epitaksiyel büyüme için en zorlu biriktirme ortamına dayanacak şekilde tasarlanmıştır. Yüksek termal iletkenlik ve mükemmel ısı dağıtım özellikleri, RTA, RTP veya sert kimyasal temizlik için güvenilir performans sağlar.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

RTP SiC Kaplama Taşıyıcımız, biriktirme ortamının en zorlu koşullarına dayanacak şekilde tasarlanmıştır. Yüksek ısıya ve korozyon direncine sahip olan epitaksi suseptörleri, epitaksiyel büyüme için mükemmel bir biriktirme ortamına tabi tutulur. Taşıyıcı üzerindeki ince SiC kristal kaplama, pürüzsüz bir yüzey ve kimyasal temizliğe karşı yüksek dayanıklılık sağlarken, malzeme çatlakları ve katmanlara ayrılmayı önleyecek şekilde tasarlanmıştır.
Semicorex olarak yüksek kaliteli, uygun maliyetli RTP SiC kaplama taşıyıcısı sağlamaya odaklanıyor, müşteri memnuniyetini ön planda tutuyor ve uygun maliyetli çözümler sunuyoruz. Yüksek kaliteli ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
RTP SiC Kaplama Taşıyıcımız hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bizimle iletişime geçin.

RTP SiC Kaplama Taşıyıcısının Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal Yapısı	FCC β fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane Boyutu	μm	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı Kapasitesi	J kg-1 K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Dayanım	MPa (RT 4 nokta)	415
Young Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300°C)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Isı iletkenliği	(W/mK)	300

RTP SiC Kaplama Taşıyıcısının Özellikleri

Yüksek saflıkta SiC kaplı grafit
Üstün ısı direnci ve termal homojenlik
Pürüzsüz bir yüzey için ince SiC kristal kaplı
Kimyasal temizlemeye karşı yüksek dayanıklılık
Malzeme çatlama ve delaminasyon oluşmayacak şekilde tasarlanmıştır.