RTP RTA SiC Kaplamalı Taşıyıcı

Semicorex, Çin'deki Silisyum Karbür Kaplamalı Grafit Süseptörlerin büyük ölçekli üreticisi ve tedarikçisidir. Semicorex grafit tutucu, Çin'de yüksek ısı ve korozyon direncine sahip epitaksi ekipmanı için özel olarak tasarlanmıştır. RTP RTA SiC Kaplamalı Taşıyıcımız iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Semicorex, RTA, RTP veya sert kimyasal temizlik için gerçekten dayanıklı olan, levhaları desteklemek için kullanılan RTP RTA SiC Kaplamalı Taşıyıcıyı sağlar. Yüksek saflıkta silisyum karbür (SiC) kaplı grafit yapıya sahip RTP RTA SiC Kaplamalı Taşıyıcı, tutarlı epi katman kalınlığı ve direnci için üstün ısı direnci, hatta termal tekdüzelik ve dayanıklı kimyasal direnç sağlar. İnce SiC kristal kaplama, temiz ve pürüzsüz bir yüzey sağlar; bozulmamış levhalar tüm alanları boyunca pek çok noktada suseptörle temas ettiğinden taşıma açısından kritik öneme sahiptir.
Semicorex olarak yüksek kaliteli, uygun maliyetli RTP RTA SiC Kaplamalı Taşıyıcı sağlamaya odaklanıyor, müşteri memnuniyetini ön planda tutuyor ve uygun maliyetli çözümler sunuyoruz. Yüksek kaliteli ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.

RTP RTA SiC Kaplamalı Taşıyıcının Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal Yapısı	FCC β fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane Boyutu	μm	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı Kapasitesi	J kg-1 K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Dayanım	MPa (RT 4 nokta)	415
Young Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300°C)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Isı iletkenliği	(W/mK)	300

RTP RTA SiC Kaplamalı Taşıyıcının Özellikleri

- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabakası iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklık ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.
- Tek kristal büyütme için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzlüğüne sahiptir.
- Grafit substrat ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısı farkını azaltın, çatlama ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkili bir şekilde artırın.
- Hem grafit alt katman hem de silisyum karbür katman, yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci, korozyon direnci.