Hızlı termal tavlama (RTA veya RTP olarak kısaltılır), yarı iletken üretiminde hızlı bir termal işleme teknolojisidir. Temel prensibi, yüksek yoğunluklu bir radyant ısı kaynağı (halojen lambalar, lazerler, flaş lambaları vb.) kullanarak gofret yüzeyini hızlı bir şekilde ısıtmak, gofreti son derece k......
Devamını okuÜçüncü nesil yarı iletken endüstrisi hızlı bir kapasite artışından geçiyor. Silisyum karbür (SiC) ve galyum nitrür (GaN) epitaksi işlemleri, yüksek sıcaklıktaki çalışma ortamlarına, ultra yüksek saflıkta ham maddelere ve minyatürleştirilmiş çip cihazlarına doğru gelişmeye devam ediyor. Bununla birli......
Devamını okuYarı iletken üretiminde oksidasyon, levhanın, bir oksit tabakası oluşturmak üzere levha yüzeyi boyunca oksijenin aktığı yüksek sıcaklıktaki bir ortama yerleştirilmesini içerir. Bu, levhayı kimyasal safsızlıklardan korur, kaçak akımın devreye girmesini önler, iyon implantasyonu sırasında difüzyonu ön......
Devamını okuSemicorex, mükemmel termal kararlılık, kimyasal direnç ve hassas levha destek performansı gerektiren zorlu yarı iletken işlemler için tasarlanmış gelişmiş TaC Kaplı Grafit Plaka Süseptörleri sağlar. Yarı iletken üreticileri yeni nesil cihazlar geliştirmeye devam ettikçe, bu gelişmiş süseptör çözüml......
Devamını okuOdak halkaları, tipik olarak plazma aşındırma ekipmanının plaka aynasının etrafına monte edilen hassas halka şeklinde parçalardır ve aşındırma işlemi sırasında doğrudan yüksek enerjili plazmaya maruz kalır. Temel işlevleri, tüm plaka yüzeyi boyunca eşit dağlama sonuçları elde etmek için kurban parça......
Devamını okuYarı iletken üretiminde vazgeçilmez çekirdek bağlantılar olan levha tutma teknolojisinin kararlılığı ve hassasiyeti, çip üretim verimliliği ve bitmiş cihaz kalitesi üzerinde doğrudan etkilidir. Vakumlu aynalar ve elektrostatik aynalar, yarı iletken üretimi için iki ana levha tutma çözümüdür. Her iki......
Devamını oku