Uç efektör, yarı iletken levhaları levha işleme ekipmanı ve taşıyıcılardaki konumlar arasında hareket ettiren robotun elidir. Uç efektör, boyutsal olarak hassas ve termal olarak kararlı olmalı, aynı zamanda cihazlara zarar vermeden veya parçacık kirliliği oluşturmadan levhaları güvenli bir şekilde işlemek için pürüzsüz, aşınmaya dayanıklı bir yüzeye sahip olmalıdır.
Semicorex yüksek saflıkta silisyum karbür (SiC) kaplama bileşenleri üstün ısı direnci, tutarlı epi katman kalınlığı ve direnci için eşit termal tekdüzelik ve dayanıklı kimyasal direnç sağlar.