Alümina seramik kolu

Semicorex alümina seramik kolu, yarı iletken uygulamalar için en yüksek özelliklere göre geliştirilen tasarlanmış bir bileşendir. Yüksek saflıkta alüminadan (al₂o₃) yapılmış, mekanik mukavemet, termal stabilite ve kimyasal direncin eşsiz bir kombinasyonuna sahip robotik bir koldur. Kol sadece gofret taşıma için kullanılmak üzere değil, aynı zamanda gelişmiş imalat sahalarında süreç desteği sağlaması gerekir. Ayrıca, gofretlerin kontaminasyon veya hasar olmadan aktarılmasını, konumlandırılmasını ve işlenmesini sağlamalıdır; Sürecin verimlerini ve güvenilirliğini artırmak.

Alüminateknik seramik alanında en geniş kullanımı bulan teknik seramiklerden biridir. Alümina, agresif ortamlarda sertliği, aşınma direnci ve stabilitesi ile bilinir. Seramik kolunun kontaminasyon getirmeden gofret taşımasını yönetmesi için, alüminanın özelliklerinden yararlanabilir ve yüksek saflık ve partikül boyutunun bir sonucu olarak aşınmaya karşı çok daha yüksek bir direnç sağlayabilir; Bu nedenle, tekrarlanan hareketleri sırasında, gofretlerle veya başka türlü yarı iletken substratlarla aşırı parçacıklar üretmez.  Barındırdığı yoğunluk ve düşük gözeneklilik, parçacıkların serbest kalma potansiyelini daha da sınırlar ve yarı iletken gelişim Fab'larının ultra temizlik gereksinimlerini, submicron cihazı işleme için gereken temizlikten uzaklaştırmadan karşılamasını sağlar.

Alüminamekanik mukavemetine ek olarak olağanüstü termal stabiliteye sahiptir. Alümina seramik kolu, aşırı işlem sıcaklıklarına çarpık, çatlama veya güç kaybetmeden dayanabilir. Bu özellik, difüzyon, oksidasyon veya tavlama adımları gibi yüksek sıcaklıklara maruz kalmayı içeren herhangi bir işlem adımına dahil edilmesi için idealdir. Gofretler, termal döngü altında mekanik bütünlüğü koruduğu için zorlu bir işlem ortamında transfer için daha iyi güvenilirliğe sahip olacaktır.

Kimyasal direnç, alümina seramik kolunun bir başka temel pozitiftir. Yarı iletken üretiminde, genellikle güçlü asitler, alkaliler ve diğer agresif kimyasalları içeren gofretlerde tedaviler yapılır. Metalik bileşenler safsızlıkları aşındırabilir veya sızdırabilirken, alümina kimyasal olarak inerttir, bu da hem kolun hem de işlediği gofretlerin bütünlüğünü korur. Bu nedenle inertlik, ıslak temizlik veya kimyasal buhar birikimi gibi kritik işlem adımları sırasında kontaminasyon olasılığını azaltırken bileşenin ömrünü uzatır.

Alümina seramik kolu uyumluluk ve hassasiyete odaklanarak tasarlanmıştır. Her kol, otomatik gofret taşıma ekipmanı ve robotik sistemlerle doğru gofret hizalaması ve hareket ve uyumluluk sağlayarak sıkı boyutsal toleranslara göre yapılır. Pürüzsüz, cilalı yüzey kaplaması, gofretin çizilmesini azaltan gofretli düşük sürtünme arayüzüne sahiptir, bu da gofret bütünlüğü/çevresel temizlik ve kusur oranını azaltma için gereklidir. Bu tasarlanmış toleranslar, kolun hızlı tempolu bir yüksek verim ortamında serbestçe çalışmasını ve kol için hem insan hem de tam otomatik yarı iletken iş akışlarına izin vermesini sağlar.

Alümina seramik kolu sadece kimyasal ve mekanik performansın ötesine ulaşır ve işletim verimliliğini ve maliyet tasarrufunu birden fazla seviyede etkiler. Seramiğin kanıtlanmış dayanıklı doğası, kolun tekrarlayan mekanik yükleme altında tasarım ömrü açısından plastik veya alüminyum gibi kompozit malzemelerin daha iyi performans göstermesine izin verir ve bu nedenle operasyonel kesinti süresi ve/veya değiştirme maliyetlerinin miktarını azaltır. Zorlu ortamlara dayanma yeteneği çevresel temizliği içerirken, aynı zamanda daha az üretim kesintileri üretir, yani tutarlı gofret üretimine, yani verim ve sonuçta daha az hurda, yarı iletken üreticiler için daha yüksek bir YG (yatırım getirisi) yol açar.

Kullanma seçenekleriAlümina seramikYarıiletken işlemleri için kol neredeyse sınırsızdır - gofretlerden ıslak banklar, difüzyon fırınları ve biriktirme odaları arasında hareket etmekten substratları kullanan denetleme ve metroloji araçlarına kadar. Bu ürünün çok yönlülüğü sadece gofret taşıma uygulamaları için kullanılmasına izin vermekle kalmaz, aynı zamanda doğruluk, temizlik ve güvenilirliğin gerekli olduğu diğer otomasyon durumları da mümkündür. Yarı iletken endüstrisi, cihaz üretiminde kaçınılmaz olarak daha küçük düğümlere ve karmaşıklığa artan karmaşıklığa doğru ilerliyor ve endüstri güvenilir ve kontaminasyon olmayan daha iyi kullanım çözümleri talep etmeye devam ettikçe, seramik robotik kol ileriye doğru net bir yol yaratıyor.