Kol

Semicorex sic kolu, maksimum güvenilirlik ve hassasiyetle gofretleri işlemek için geliştirilmiş özel bir cihazdır. SIC kolu gibi gofret transfer kolları, epitaksiyal reaktörler, iyon implantasyon sistemleri, termal işleme, vb. Gibi gelişmiş yarı iletken üretim ekipmanlarında görünür. Yüksek saflık kullanılarak inşa edildisilikon karbürhammadde özellikleri ile birlikte 

Olağanüstü termal ve kimyasal stabilite ve mükemmel işleme kontrolü, SIC kolunu gelecekteki yarı iletken üretimi için güvenilir bir çözüm haline getirir.

SIC ARM, aşırı termal ortamlarda olağanüstü performansına sahiptir. Epitaksiyal büyüme ve diğer yüksek sıcaklık süreçlerinde, gofret taşıma bileşenleri, geleneksel bir malzemenin özelliklerini kolayca bozan sürekli ısıya maruz kalabilir. Silikon karbür, yüksek sıcaklıklarda hem mukavemet hem de boyutsal doğruluğu (sonlu boyutsal toleranslar) korur, bu da gofretlerin transfer veya işleme sırasında tam olarak oturabilmesini ve gofret yanlış hizalanmasını, çarpışmasını veya kontamasyonu sanal olarak ortadan kaldırmasını sağlar. Bir sic ürününün olağanüstü performansı ile seramik; SIC kolu oksitlenmez, metal gibi çarpıtmaz veya stres çatlakları olan bir seramik gibi arıza performans özelliklerine sahip değildir.

Kimyasal direnç, sic kolunun bir başka tanımlayıcı özelliğidir. Yarı iletken ortamlarda aşındırıcı gazlar, reaktif kimyasallar ve plazma maruziyeti yaygındır. Bu tür koşullar altında bozulan bir taşıma kolu sadece mekanik başarısızlığı değil, aynı zamanda gofretlerin kontaminasyonunu da riske atar.Silikon karbürBu agresif koşullara dayanan kimyasal olarak inert bir yüzey sağlar. Sonuç, yüzey bütünlüğünü ve temizliğini koruyan, gofretleri cihaz performansını tehlikeye atabilecek safsızlıklardan koruyan son derece güvenilir bir bileşendir. Bu dayanıklılık, ekipman kesinti süresini önemli ölçüde azaltır, değiştirme frekansını düşürür ve işlem tutarlılığını artırır.

Malzeme esnekliğinin ötesinde, sic kolu da yüksek derecede işleme doğruluğunu karşılar. Gofret taşıma mikrometre için doğruluk gerektirir; Spesifikasyon dışında bile toleranslar, gofret kırılmasında veya gofret yanlış hizalamasında daha yüksek risklere neden olabilecek geometri veya yüzey kaplamasında değişikliklere neden olabilir. Modern üretim teknolojileri kullanılarak, SIC kolları uygun toleranslar, düzlük ve pürüzsüz yüzeylerle üretilir. Yüksek hassasiyetli uygulamalar olmak, zorunlu özelliklere sahip yüksek hacimli yarı iletken üretimi için ideal olan binlerce taşıma döngüsü sırasında gofretlerin tutarlı konumlandırılmasını ve tekrarlanabilir performansı sağlamak için idealdir.

Çok yönlülük, SIC kollarının bir başka avantajıdır. Farklı yarı iletken araçları ve işlemleri farklı geometriler, boyutlar ve tasarımlardan oluşan kollar gerektirir. SIC kolları, bu spesifik tasarım özelliklerini dahil etmek için değiştirilebildiğinden, bir epitaks aracı, bir parça iyon implantasyon ekipmanı veya bir termal işleme reaktörü olsun, geniş bir sistemlere kolayca sığabilirler. Yüzey kaplamaları, yapısal tasarımlar ve kaplamalar, belirli uygulama ile ilgili en iyi performansı sağlamak için değiştirilebilir ve tasarlanabilir.

SIC Arms ayrıca operasyonel verimliliğe sahiptir. SIC'nin yüksek dayanıklılığı ve güvenilirliği ortalama değiştirmeleri nadirdir ve kesinti süresi en aza indirilir; Her ikisi de düşük uzun vadeli bakım maliyetleri anlamına gelir. Üretim yarı iletken fabları için bu, daha iyi verim, üretimde daha fazla stabilite potansiyeli ve daha yüksek cihaz verimlerini gerçekleştirmek anlamına gelir.

SIC Arms, hem mekanik streslere hem de çok titiz işlem koşullarına dayanmaları gereken gofret transfer sistemlerine yarı iletken topluluğa girişlerinden bu yana yaygın bir kullanım gördü. Garimleri epitaksi reaktörlerine taşıyın, iyon implantasyonu sırasında yerinde tutar veya gaz veya termal işleme ortamları aracılığıyla aktarmak olsun, SIC kolu güvenli, hassas ve kontaminasyonsuz gofret kullanımı sağlar. Güvenilirlik, SIC kollarının modern yarı iletken ekipman portföyüne sokulmasıyla açıktır.

Semicorex sic kolu, gelişmişin arzu edilen özelliklerinin başarılı bir kombinasyonudur.silikon karbür malzemesi, hassas mühendislik ve yüksek sıcaklık istikrarı. Kimyasal stabilite, işleme yeteneği ve hassas imalatın kombinasyonu, SIC kolunu en zorlu yarı iletken süreçlerde güvenilir gofret taşıma sağlamak için uygun hale getirir. SIC kolu, verimlilik, verim ve süreç istikrarı açısından uzun vadeli işletme performansına yardımcı olmak ve faydalar sunmak ve faydalar sunmak için son kullanıcı sarf malzemeleri için özelleştirilebilir ve dayanıklıdır. Modern ve en son gofret taşıma sistemleri veya hatta kutu dışı gofret taşıma çözümleri arayan üreticiler, yarı iletken endüstrisinin gelişmiş talepleri için kanıtlanmış, yüksek performanslı ve yetenekli bir gofret transferi ve taşıma sistemi olarak SIC koluna bakarlar.