Hazne kapakları, biriktirme odalarında temiz, inert ve korumalı bir ortam oluşturmak için kullanılır, böylece biriktirme veya dağlama işlemleri sırasında plazmaya ve yüksek sıcaklığa maruz kalırlar. Semicorex hazne kapakları, kimyasal buhar biriktirme (CVD) yöntemi kullanılarak silikon karbür ile kaplanmış, bu zorlu ortamlara dayanmak için mükemmel olan dayanıklı seramik bileşenlerdir.