Sic kapağı

Semicorex sic kapağı, yarı iletken işleme için özel olarak tasarlanmış hayati bir kısımdır. Epitaksi, iyon implanting ve yüksek sıcaklık uygulamalarındaki en zorlu ortamlar için tasarlanmıştır. Son derece kararlı malzeme özelliklerine ve tasarlanmış hassasiyete sahip ultra saf silikon karbürden üretilmiştir. Uzun süreli tutarlılık, dayanıklılık ve temizlik, ileri yarı iletken imalat süreçlerinde kullanılmak üzere Semicorex sic kapağını seçmenin temel nedenleridir.

Silikon Karbür (sic)Geleneksel seramiklere veya metalik malzemelere kıyasla benzersiz olan bir dizi özelliğe sahiptir. SIC'nin ana avantajlarından biri, yüksek sıcaklıklara karşı direncidir. SIC yapısal bütünlüğünü ve mekanik stabilitesini, yüksek sıcaklıklarda bile uzun süreler boyunca koruyabilir. Bu, SIC'yi kimyasal buhar birikimi (CVD) epitaksi veya yüksek enerjili iyon implantasyonu gibi işlemler için ideal hale getirir. Metaller ve plastikler aşırı sıcaklıklarda deforme olur, oksitlenir veya kontamine olur, SIC boyutsal stabilitesini korur ve işlenen gofretlerle olumlu etkileşime girmez.

Kimyasal direnç, SIC kapaklarının bir başka ayırt edici özelliğidir. Korozif gazlarla karşılaşabileceğiniz ortamların işlenmesinde plazma veya reaktif kimyasallar nadir değildir. Bu senaryolarda SIC yüzeyi, bu kirleticilerin zamanla yüzeyi bozmasına direnmek için inert bir bariyer sağlayacak ve bu da daha uzun etkili bir ömre neden olacak. Bu uzun ömür, azaltılmış bakım maliyetleri, azaltılmış ekipman indirme süresi ve genişletilmiş işlem döngülerinde tekrarlanabilirlik ile eşittir. Bu faktörler, SIC kapağını geleneksel malzemelere kıyasla sürekli, yüksek verimli üretim gerektiren FAB'ler için daha iyi bir seçenek haline getirir.

Tıpkı kimyasal direnç gibi, saflık da yarı iletken uygulamasında çok önemlidir. İz kirleticilerin varlığı, cihaz performansı ve verimi üzerinde olumsuz bir etkiye sahip olabilir. SIC kapağı, süreç ortamına akan metalik safsızlıkların olasılığını dışlayan yüksek saflıkta silikon karbür malzemelerinden yapılır. Buna ek olarak, nanometre seviyesi nesnelerinin kirletici maddelerin boyutsuz hassasiyeti ve kontrolü ile tanımlanması gereken günümüzün yarı iletken üretim gereksinimlerini yerine getirmede kritik olan kirletici maddeler ve kapak performansını etkileyen dış kuvvetlerle ilgili olabildiğince temiz ve kararlı olması garanti edilir. SIC kapağının sunduğu esneklik ek değerdir. Her bileşen, boyut, geometri ve yüzey kaplaması açısından belirli bir müşterinin ihtiyaçları için tasarlanabilir. Bu, kapağın farklı ekipman modellerine ve işlem araçlarına kolayca dahil edilmesini ve entegre edilmesini sağlar.

İşlenmesinin hassasiyetiSicKapaklar SIC kapaklarının değerini daha da geliştirir. Yarıiletken araçları, boyutsal uyumluluk ve yüzey homojenliğindeki büyük dalgalanmalar nedeniyle en yüksek mekanik hassasiyeti gerektirir, tekdüzelik ve malzeme kalınlığındaki küçük varyanslar bile bir aracın proses tutarlılıklarını, verimini ve ürün kalitesini ciddi şekilde tehlikeye atabilir. Malzeme işleme konusundaki ileri teknolojiler yoluyla, SIC kapakları, geleneksel endüstri standartlarını aşan, tipik olarak binlerce/binlerce inç (TIR) ​​olan mekanik sızdırmazlık yüzey kalınlığı sunan bir düzlük, yüzey tekdüzeliği ve toleranslara sahiptir. Yüksek düzlük, mekanik bir uyumun kapatılmasına ve üretim sürecindeki deneyim koşullarına ilişkin laboratuvar sınıfı sınırlarının güvencesinin çoğaltılabilir. Bu, özellikle koşulların tekrarlanabilirliğine verilen vurgunun yarı iletken cihazlarının performansı için çok önemli olduğu yüksek hacimli FAB'lerde belirgindir. Hassas mühendislik izlediğinizde doğrudan optimizasyon vermek için konuşur. SIC kapakları tipik pratik kullanımda olduğunda, örneğin, sic kapağının reaktöre girmek için termal ve kimyasal olarak sabit oturduğu epitakside veya bir iyon implantasyon sisteminde, lidaya çarpan iyonların yüksek güç kirişinden çıkarılan enerjik partiküllere direnmek için, mekanik konfigürasyonların sabit bombardımanları altında performanslarını koruduğunu koruduklarında, performanslarının sabit bombardımanı koruduğunu koruduklarında Kapaklar, katı hal yarı iletken üretiminde eşanlamlı olmaya mahkumdur.

Semicorex sic kapağı, hem malzeme bilimi hem de malzeme mühendisliğinin en iyisini temsil eder ve yüksek sıcaklık toleransları, kimyasal dirençleri, ideal saflık, özel imalatlar, hassas işleme çalışmaları arasında, SIC kapağının gerçekleştireceği en iyi performansı sunar.