İşleme sırasında yarı iletken levhaların özel fırınlarda ısıtılması gerekir. Reaktör, gofretlerin gofret tekneleri üzerine önceden belirlenmiş, eşit aralıklarla yerleştirildiği uzun, silindirik tüplerden oluşur. Gofret işlemede kullanılan diğer cihazlar silisyum karbür (SiC) gibi bir malzemeden üretilir.
İşlenecek bir grup levha ile yüklenen tekneler, boru şeklindeki fırınlara ve reaktörlere yerleştirilip buradan çekilebilecekleri uzun dirsekli kanatlar üzerine konumlandırılmıştır. Kürekler, üzerine bir veya daha fazla teknenin yerleştirilebileceği düzleştirilmiş bir taşıyıcı bölüm ve düzleştirilmiş taşıyıcı bölümün bir ucunda konumlandırılan, küreğin tutulabileceği uzun bir sap içerir.
Konsol küreğinin, yüksek saflıkta ve yarı iletken işlemedeki bileşenler için en iyi seçim olan CVD SiC ince tabakalı yeniden kristalleştirilmiş silisyum karbür kullanılması tavsiye edilir.
Semicorex çizimlere ve çalışma ortamına göre özelleştirilmiş hizmet sağlayabilir.
Semicorex Yüksek Saflıkta SiC Konsol Paddle, yarı iletken yatay fırında yapısal bir parça olan yüksek saflıkta sinterlenmiş SiC seramikten yapılmıştır. Semicorex, yarı iletken endüstrisinde SiC bileşenleri tedarik etme konusunda deneyimli bir şirkettir.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex SiC Seramik Kürek, öncelikle oksidasyon ve difüzyon proseslerinde kullanılan, yarı iletken yüksek sıcaklık fırınları için tasarlanmış yüksek saflıkta bir konsol bileşenidir. Semicorex'i seçmek, kritik levha işleme uygulamaları için olağanüstü stabilite, temizlik ve dayanıklılık sağlayan gelişmiş seramik çözümlerine erişim kazanmak anlamına gelir.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex SiC Kürekler, 1000°C'nin üzerindeki yüksek sıcaklıktaki oksidasyon ve difüzyon fırınlarında levha taşınması için tasarlanmış yüksek saflıkta silisyum karbür konsol koludur. Semicorex'i seçmek, önde gelen yarı iletken fabrikaların güvendiği olağanüstü malzeme kalitesi, hassas mühendislik ve uzun vadeli güvenilirliğin sağlanması anlamına gelir.*
Devamını okuTalep Gönder