SiC Seramik Kürek

Semicorex SiC seramik kürek, oksidasyon ve difüzyon gibi yüksek sıcaklıktaki yarı iletken fırın uygulamaları için geliştirilmiş gelişmiş bir parçadır. Kürek, levhaları yüksek sıcaklıklarda tutmak ve hareket ettirmek için konsol desteği görevi görür. Semicorex SiC seramik kürek, üretim süreci boyunca güvenilirlik, stabilite ve performans gerektiren yüksek sıcaklıktaki işlemlere yüksek saflıkta, yüksek mukavemetli seramik bileşenler sağlar.

Kürekler yüksek saflıkta üretilirsilisyum karbür (SiC)yarı iletken üretim sürecinin zorlu termal ve kimyasal ortamlarına dayanacak şekilde özel olarak formüle edilmiştir. Gofretler oksidasyon ve difüzyon yoluyla işlendiğinde, gofret 1000 derece C'nin üzerindeki sıcaklıkların yanı sıra oksijen, buhar veya katkı maddesi atmosferleri gibi reaktif gazlara maruz kalır. Bu sıcaklıklarda yapısal bütünlük malzemenin saflığına bağlı olacaktır.

SiC seramik küreklerin bir diğer önemli özelliği de yüksek sıcaklıklardaki üstün performanslarıdır. SiC'nin erime noktasının 2700+C olması nedeniyle kanatlar yüksek sıcaklığa maruz kaldığında gücünü ve mekanik stabilitesini korur

zamanla değişir. Termal özellik, üretim ortamlarında uzun bir hizmet ömrü sağlarken, tekrarlanan ısıtma ve soğutma döngüleri sırasında malzemenin bükülmesini ve çatlamasını sınırlar.

Yarı iletkenlerin işlenmesi ultra temiz bir ortam gerektirir çünkü eser miktarda yabancı madde bile cihazların verimini ve davranışını etkileyebilir. Küreklerde kullanılan SiC malzemesi, metalik kirlenmeyi en aza indirirken olağanüstü yüksek malzeme saflığını destekleyen, kimyasal olarak buharla biriktirilmiş (CVD) bir SiC kaplamaya sahiptir. SiC seramik kürek, kullanım ömrü boyunca temiz ve sağlam kalır. Konsol destekleri olarak küreklerin, fırına yerleştirme ve çıkarma sırasında levha taşıyıcıları veya tekneler için güvenli bir destek sağlaması gerekir. yüzündenSiCDoğal mukavemeti ve sertliği nedeniyle, levhaların doğru şekilde taşınması ve hizalanması için gerekli olan minimum sapma ile iyi yük taşıma özelliklerine sahiptirler. Oksidasyon ve difüzyon fırınlarında, korozif atmosferler zamanla geleneksel malzemelere zarar verebilir ve bunları bozabilir, ancak SiC, küreğin kullanım ömrünü uzatarak kimyasal stabilitesini koruma kapasitesine sahiptir. Bu, kanatçıkların neredeyse aynı sıklıkta değiştirilmesine veya onarılmasına gerek olmadığından, bakım ve değiştirme maliyetlerinin önemli ölçüde azalmasına neden olur.

Performansa ek olarak, küreklerin belirli ekipman ve işlemler için özelleştirilmesinde esneklik vardır. Boyutlar, toleranslar ve yüzey kalitesi, fırın tasarımları ile diğer levha işleme sistemleri arasında uyumu sağlayacak şekilde esnek hale getirilebilir. Seramiğin hassas işlenmesiyle yüksek derecede boyutsal doğruluk elde etme yeteneği, aynı zamanda küreklerin karmaşık geometrileri karşılayacak şekilde üretilmesine de olanak tanıyacaktır. Bu özelliklerin tamamı, kusursuz çalışma ve mevcut üretim hatlarına kolay entegrasyon sağlamayı amaçlamaktadır.

SiC seramikkürekler, yüksek saflık, termal stabilite, mekanik mukavemet ve kimyasal direnç kombinasyonuyla yarı iletken oksidasyon ve difüzyon proseslerinde temel malzemelerdir. Gofret aktarımı için istikrarlı, temiz bir platform sağlayarak, artan verime, süreç tutarlılığına ve genel üretim verimliliğine doğrudan katkıda bulunurlar.