Çin Duş başlığı Üreticiler, Tedarikçiler, Fabrika

SiC (silikon karbür) duş başlığı, özellikle yarı iletken imalat endüstrisinde olmak üzere çeşitli endüstriyel işlemlerde kullanılan özel bir bileşendir. Kimyasal buhar biriktirme (CVD) ve epitaksiyel büyüme süreçleri sırasında proses gazlarını eşit ve hassas bir şekilde dağıtmak ve iletmek için tasarlanmıştır.

Duş başlığı, yüzeyinde eşit olarak dağıtılmış çok sayıda delik veya nozül bulunan bir disk veya plaka şeklindedir. Bu delikler, proses gazları için çıkış görevi görerek, bunların proses odasına veya reaksiyon odasına enjekte edilmesini sağlar. Deliklerin boyutu, şekli ve dağılımı, özel uygulama ve işlem gereksinimlerine bağlı olarak değişebilir.

SiC duş başlığı kullanmanın en önemli avantajlarından biri, mükemmel termal iletkenliğidir. Bu özellik, sıcak noktaları önleyerek ve tutarlı proses koşulları sağlayarak, duş başlığı yüzeyi boyunca verimli ısı transferi ve eşit sıcaklık dağılımı sağlar. Geliştirilmiş termal iletkenlik ayrıca işlemden sonra duş başlığının hızlı bir şekilde soğumasını sağlayarak arıza süresini en aza indirir ve genel üretkenliği artırır.

SiC duş başlıkları, aşındırıcı gazlara ve yüksek sıcaklıklara uzun süre maruz kalındığında bile son derece dayanıklıdır ve aşınmaya ve yıpranmaya karşı dayanıklıdır. Bu uzun ömür, uzatılmış bakım aralıkları ve azaltılmış ekipman arıza süresi anlamına gelir ve bu da maliyet tasarrufu ve geliştirilmiş proses güvenilirliği ile sonuçlanır.

SiC duş başlıkları, sağlamlığının yanı sıra mükemmel gaz dağıtım özellikleri sunar. Hassas bir şekilde tasarlanmış delik desenleri ve konfigürasyonları, alt tabaka yüzeyi üzerinde tek tip gaz akışı ve dağılımı sağlayarak tutarlı film birikimini ve gelişmiş cihaz performansını destekler. Tekdüze gaz dağılımı aynı zamanda film kalınlığı, bileşimi ve diğer kritik parametrelerdeki değişimleri en aza indirmeye yardımcı olarak gelişmiş proses kontrolüne ve verime katkıda bulunur.

Semicorex, düşük dirençli sinterlenmiş silisyum karbür yarı iletken duş başlığı sunar. Çeşitli benzersiz yeteneklerden yararlanarak gelişmiş seramik malzemeleri özel mühendislik ve tedarik etme yeteneğine sahibiz.