Çin Duş Başlığı Üreticiler, Tedarikçiler, Fabrika

SiC (silisyum karbür) duş başlığı, özellikle yarı iletken imalat endüstrisinde olmak üzere çeşitli endüstriyel işlemlerde kullanılan özel bir bileşendir. Kimyasal buhar biriktirme (CVD) ve epitaksiyel büyüme süreçleri sırasında proses gazlarını eşit ve hassas bir şekilde dağıtmak ve iletmek için tasarlanmıştır.

Duş başlığı, yüzeyinde eşit olarak dağıtılmış çok sayıda delik veya nozul bulunan bir disk veya plaka şeklindedir. Bu delikler proses gazları için çıkış görevi görerek bunların proses odasına veya reaksiyon odasına enjekte edilmesine olanak tanır. Deliklerin boyutu, şekli ve dağılımı, spesifik uygulama ve proses gereksinimlerine bağlı olarak değişiklik gösterebilir.

SiC duş başlığı kullanmanın en önemli avantajlarından biri mükemmel ısı iletkenliğidir. Bu özellik, duş başlığı yüzeyi boyunca verimli ısı transferi ve eşit sıcaklık dağılımı sağlayarak sıcak noktaları önler ve tutarlı proses koşulları sağlar. Geliştirilmiş termal iletkenlik aynı zamanda işlemden sonra duş başlığının hızlı bir şekilde soğutulmasına olanak tanıyarak aksama süresini en aza indirir ve genel üretkenliği artırır.

SiC duş başlıkları son derece dayanıklıdır ve aşındırıcı gazlara ve yüksek sıcaklıklara uzun süre maruz kalsa bile aşınma ve yıpranmaya karşı dayanıklıdır. Bu uzun ömür, daha uzun bakım aralıkları ve daha az ekipman arıza süresi anlamına gelir, bu da maliyet tasarrufu ve gelişmiş süreç güvenilirliği sağlar.

SiC duş başlıkları, sağlamlığının yanı sıra mükemmel gaz dağıtım yetenekleri de sunar. Hassas bir şekilde tasarlanmış delik desenleri ve konfigürasyonları, alt tabaka yüzeyi üzerinde eşit gaz akışı ve dağılımı sağlayarak tutarlı film birikimini ve gelişmiş cihaz performansını destekler. Düzgün gaz dağıtımı aynı zamanda film kalınlığı, bileşim ve diğer kritik parametrelerdeki farklılıkların en aza indirilmesine yardımcı olarak proses kontrolünün ve veriminin iyileştirilmesine katkıda bulunur.

Semicorex, düşük dirençli sinterlenmiş silisyum karbür yarı iletken duş başlığı sunar.  Çeşitli benzersiz yeteneklerden yararlanarak gelişmiş seramik malzemeleri özel olarak tasarlama ve tedarik etme kapasitesine sahibiz.