Semicorex, yarı iletken işlemede iyileştirme ortağınızdır. Silisyum karbür kaplamalarımız yoğun, yüksek sıcaklığa ve kimyasallara dayanıklıdır ve yarı iletken levha ve levha işleme ve yarı iletken imalatı da dahil olmak üzere yarı iletken imalatının tüm döngüsünde sıklıkla kullanılır.
Yüksek saflıkta SiC seramik bileşenler yarı iletkendeki işlemler için çok önemlidir. Teklifimiz Epitaxy veya MOCVD için Silisyum Karbür gofret teknesi, konsol kürekleri, tüpler vb. gibi gofret işleme ekipmanlarına yönelik sarf malzemeleri parçalarından oluşmaktadır.
Yarı iletken proseslerin avantajları
Epitaksi veya MOCVD gibi ince film biriktirme aşamaları veya dağlama veya iyon implantasyonu gibi levha işleme işlemleri, yüksek sıcaklıklara ve sert kimyasal temizliğe dayanmalıdır. Semicorex, yüksek saflıkta silisyum karbür (SiC) yapı sağlar; üstün ısı direnci ve dayanıklı kimyasal direnç, hatta tutarlı epi katman kalınlığı ve direnci için termal tekdüzelik sağlar.
Hazne Kapakları →
Kristal büyütme ve levha işleme prosesinde kullanılan Hazne Kapakları, yüksek sıcaklıklara ve sert kimyasal temizlemeye dayanıklı olmalıdır.
Konsol Kürek →
Konsol Paddle, yarı iletken üretim süreçlerinde, özellikle difüzyon veya LPCVD fırınlarında difüzyon ve RTP gibi işlemler sırasında kullanılan çok önemli bir bileşendir.
Proses Tüpü →
Proses Tüpü, RTP, difüzyon gibi çeşitli yarı iletken işleme uygulamalarında özel olarak tasarlanmış çok önemli bir bileşendir.
Gofret Tekneleri →
Yarı iletken işlemede kullanılan Gofret Teknesi, hassas gofretlerin üretimin kritik aşamalarında güvende tutulmasını sağlamak için titizlikle tasarlanmıştır.
Giriş Halkaları →
MOCVD ekipmanı tarafından SiC kaplı gaz giriş halkası Bileşik büyümesi, zorlu ortamlarda büyük stabiliteye sahip olan yüksek ısı ve korozyon direncine sahiptir.
Odak Halkası →
Semicorex, Silikon Karbür Kaplamalı odak halkası RTA, RTP veya sert kimyasal temizlik için gerçekten dayanıklıdır.
Gofret Aynası →
Semicorex ultra düz seramik vakumlu gofret aynaları, gofret işleme prosesinde kullanılan yüksek saflıkta SiC kaplıdır.
Semicorex'in ayrıca Alümina (Al2O3), Silikon Nitrür (Si3N4), Alüminyum Nitrür (AIN), Zirkonya (ZrO2), Kompozit Seramik vb. malzemelerden yapılmış seramik ürünleri de bulunmaktadır.
Semicorex sic oksidasyon tüpü, gelişmiş yarı iletken termal işleme için SIC tüp fırınlarında kullanılan yüksek performanslı bir bileşendir. Aşırı koşullarda uzun süreli stabilite için tasarlanmıştır. Üstün malzeme saflığımız, sıkı boyutsal kontrol ve tutarlı ürün kalitemiz için Semicorex'i seçin ve her yüksek sıcaklık çalışmasında optimal sonuçlar elde etmenize yardımcı olur.
Devamını okuTalep GönderSemicorex alümina montaj baz plakaları, yarı iletken üretiminde hassas gofret kullanımı için tasarlanmış yüksek performanslı seramik bileşendir. Üstün mukavemeti, yalıtım ve termal stabilitesi, temiz oda otomasyon ortamları talep etmek için ideal hale getirir.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex Silikon Karbür Vakum Chuck, gözenekli silikon karbürden hazırlanmış yüksek performanslı bir gofret taşıma çözeltisidir. Montaj (ağda), inceltme, ağa alma, temizleme, dini ve hızlı termal tavlama (RTA) gibi kritik işlemler sırasında yarı iletken gofretlerin vakum adsorpsiyonu için özel olarak tasarlanmıştır. Eşsiz malzeme saflığı, boyutsal hassasiyet ve zorlu yarı iletken ortamlarda güvenilir performans için Semicorex'i seçin.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex alümina robot kolu, yarı iletken üretiminde hassas gofret kullanımı için tasarlanmış yüksek performanslı bir seramik bileşendir. Üstün mukavemeti, yalıtım ve termal stabilitesi, temiz oda otomasyon ortamları talep etmek için ideal hale getirir.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex alümina seramik uç efektör, yarı iletken üretim ve ilgili uygulamalarda güvenilir ve kontaminasyon içermeyen gofret kullanım için özel olarak tasarlanmış hassas şekilde tasarlanmış bir bileşendir.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex gözenekli SIC Chuck, yarı iletken işlemede güvenli ve düzgün gofret adsorpsiyonu için tasarlanmış yüksek performanslı bir seramik vakum mandalıdır. Tasarlanmış mikro gözenekli yapısı, mükemmel vakum dağılımı sağlar ve hassas uygulamalar için idealdir.*
Devamını okuTalep Gönder