Semicorex gözenekli tantal karbür seramik, özellikle fiziksel buhar taşıma (PVT) prosesinde tasarlanmış yüksek performanslı gözenekli seramiktir. Özel gözenekli yapısı ve mükemmel özellikleri, yüksek kaliteli silisyum karbür kristal büyümesinin kolaylaştırılmasında önemli bir rol oynar. Semicorex'i seçerek gelişmiş yarı iletken üretimi için tutarlı kalite ve istikrarlı performansa sahip ideal gözenekli seramik çözümleri elde edeceksiniz.
Semicorex gözenekli tantal karbür seramik, aşağıdaki mükemmel performans özellikleri sayesinde zorlu yüksek sıcaklık ve yüksek korozyon çalışma ortamlarında istikrarlı performansı koruyabilen, yaklaşık 3880°C erime noktasına sahip, ultra yüksek sıcaklıkta bir seramik malzemedir.
Semicorex gözenekli maksimum çalışma sıcaklığıtantal karbür seramik3200 ° C'ye kadar çıkabilir ve yüksek sıcaklıkta silisyum karbür kristal büyüme koşullarında herhangi bir deformasyon veya yumuşama olmadan uzun süre stabil olarak çalışabilir.
Semicorex gözenekli tantal karbür seramiği, geleneksel seramiklere göre daha iyi korozyon direnci ve oksidasyon direnci sergiler. Kristal büyüme sürecinde yüksek sıcaklıktaki oksijen ve Si buharının korozyonuna etkili bir şekilde dayanabilir.
Semicorex gözenekli tantal karbür seramik, %10-60 (özelleştirilebilir) arasında bir gözenekliliğe ve %98'in üzerinde bir gözenek oranına sahip, eşit şekilde dağıtılmış iç gözeneklere sahiptir. Bu özel yapı, Si ve C gibi buhar fazı elemanlarının kristal büyütme fırını içinde düzgün bir şekilde akmasını ve yayılmasını sağlayarak, yüksek kaliteli kristallerin büyümesini büyük ölçüde kolaylaştırır.
PVT prosesi yoluyla silisyum karbür kristal büyümesi sırasında, Semicorex gözenekli tantal karbür seramiği öncelikle buhar fazlı eleman filtreleme, fırın sıcaklık gradyanının düzenlenmesi ve gaz malzemesi akış rehberliğinde işlev görür. Geleneksel gözenekli TaC kaplı grafit malzemelerden farklı olarak Semicorex gözenekli tantal karbür seramiği belirgin avantajlar gösterir: Gözenekliliği ortadan kaldırırTaC kaplı grafitmalzemelerin kaplama işleminin neden olduğu düşük gözenek oranı dezavantajını ortadan kaldırırken, gözenekli TaC kaplı grafit malzemelerin hizmet sırasında karşılaşılan kaplama soyulmasındaki sıkıntılı noktasını ortadan kaldırır. Semicorex gözenekli tantal karbür seramiği kullanarak, silisyum karbür kristal büyümesinde karbon içerme kusurlarını etkili bir şekilde önleyebilir, böylece kristal büyüme kalitesini ve ürün verimini büyük ölçüde artırabilirsiniz.