Tantal Karbür Kaplamalı Grafit Parçalar

Tantal Karbür Kaplamalı Grafit Parçalar, hassasiyetin, güvenilirliğin ve zorlu koşullara dayanıklılığın çok önemli olduğu yarı iletken üretim süreçlerinde çok önemli bir rol oynar. Aşındırma halkaları ve potalar da dahil olmak üzere özel olarak işlenmiş bu bileşenler, yarı iletken üretiminde karşılaşılan zorlu ortamlara dayanacak şekilde tasarlanmıştır.

Aşındırma halkaları gibi Tantal Karbür Kaplamalı Grafit Parçalar, yarı iletken endüstrisinde kimyasal buhar biriktirme (CVD) ve fiziksel buhar biriktirme (PVD) gibi işlemler için kullanılan kritik bileşenlerdir. Bu halkalar aşındırma işlemi sırasında reaktif gazlarla ve yüksek sıcaklıktaki ortamlarla doğrudan temas eder.

Tantal Karbür Kaplamalı Grafit Parçalar ince bir tantal karbür tabakası ile kaplanmıştır. Bu kaplama olağanüstü aşınma direnci ve aşındırıcı kimyasallara karşı koruma sağlayarak uzun ömür ve tutarlı performans sağlar.

Tantal karbür kaplama, dağlama halkalarının sertliğini ve kimyasal stabilitesini artırarak bozulmayı ve kirlenmeyi önler. Aynı zamanda tekdüze gravür sonuçlarına ve uzun çalışma ömrüne de katkıda bulunur.