TaC kaplama grafiti, yüksek saflıkta bir grafit alt tabakanın yüzeyinin, özel bir Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) işlemiyle ince bir tantal karbür tabakasıyla kaplanmasıyla oluşturulur.
Tantal karbür (TaC), tantal ve karbondan oluşan bir bileşiktir. Metalik elektrik iletkenliğine ve son derece yüksek bir erime noktasına sahiptir; bu da onu gücü, sertliği, ısı ve aşınma direnciyle bilinen refrakter bir seramik malzeme haline getirir. Tantal Karbürlerin erime noktası saflığa bağlı olarak yaklaşık 3880°C'ye ulaşır ve ikili bileşikler arasında en yüksek erime noktalarından birine sahiptir. Bu, MOCVD ve LPE gibi bileşik yarı iletken epitaksiyel işlemlerde kullanılan performans yeteneklerini yüksek sıcaklık taleplerinin aştığı durumlarda onu çekici bir alternatif haline getirir.
Semicorex TaC Kaplamanın malzeme verileri
Projeler |
Parametreler |
Yoğunluk |
14,3 (gram/cm³) |
Emissivite |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Sertlik (HK) |
2000 |
Direnç (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Termal Kararlılık |
<2500°C |
Grafit Boyut Değişikliği |
-10~-20um (referans değeri) |
Kaplama Kalınlığı |
≥20um tipik değer (35um±10um) |
|
|
Yukarıdakiler tipik değerlerdir |
|
Semicorex TaC Kaplamalı Grafit Chuck, yarı iletken üretiminde hassas levha işleme ve yüksek sıcaklıktaki işlemler için tasarlanmış yüksek performanslı bir bileşendir. Zorlu yarı iletken uygulamalarında optimum performans ve uzun ömür sağlayan yenilikçi, dayanıklı ürünleri için Semicorex'i seçin.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex TaC halkası, SiC tek kristal büyümesi için tasarlanmış, optimum gaz akışı dağılımı ve sıcaklık kontrolü sağlayan yüksek performanslı bir bileşendir. Yarı iletken süreçlerinizin verimliliğini ve kalitesini artıran dayanıklı ve güvenilir çözümler sunan ileri malzeme ve hassas mühendislik alanındaki uzmanlığımız için Semicorex'i seçin.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex Tantal Karbür Parçası, silikon karbür (SiC) kristal büyütme uygulamalarında yüksek performanslı kullanım için tasarlanmış, mükemmel sıcaklık ve kimyasal direnç sunan TaC kaplı bir grafit bileşenidir. Yarı iletken üretiminde kristal kalitesini ve üretim verimliliğini artıran güvenilir, yüksek kaliteli bileşenler için Semicorex'i seçin.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex Tantal Karbür halkalar, gelişmiş yarı iletken üretim süreçlerinde kullanılan kritik bileşenlerdir. Olağanüstü sertlikleri, yüksek erime noktaları ve kimyasal inertlikleri ile tanınan Semicorex olarak, müşterilerimizin yarı iletken endüstrisinde yenilikçiliğin ön saflarında kalmasını sağlayarak, en yüksek kalite ve performans standartlarını karşılayan ürünler sunmaya kendimizi adadık.*
Devamını okuTalep GönderSemicorex TaC Kaplama Gofret Süseptör, gofret kalitesini ve performansını artırmak için silikon karbür epitaksiyel büyümede kullanılan tantal karbür ile kaplanmış bir grafit tepsidir. Üstün SiC epitaksi sonuçları ve uzatılmış suseptör ömrü sağlayan gelişmiş kaplama teknolojisi ve dayanıklı çözümleri için Semicorex'i seçin.*
Devamını okuTalep GönderTaC Kaplama Kılavuz Halkaları, kristal kalitesini artırmak için silisyum karbür kristal büyütme fırınlarında kullanılmak üzere tasarlanmış, tantal karbür kaplamalı grafit halkalardır. Üstün dayanıklılık, termal stabilite ve optimize edilmiş kristal büyüme performansı sağlayan gelişmiş kaplama teknolojisi nedeniyle Semicorex'i seçin.*
Devamını okuTalep Gönder