TaC kaplı tohum kristal tutucusu, yarı iletken malzemelerin büyüme ortamı için özel olarak tasarlanmış yüksek performanslı bir bileşendir. TTaC kaplamalı tohum kristal tutucuların lider üreticisi olan semicorex, üst düzey yarı iletken üretim alanında size verimli çekirdek bileşen çözümleri sunar.
Alt tabakaTaC kaplamalıtohum kristal tutucusu genellikle grafit, silisyum karbür veya karbon/karbon kompozit malzemelerden yapılır ve daha sonra gelişmiş ultra yüksek sıcaklıkta kimyasal buhar biriktirme (CVD) teknolojisi yoluyla yüzeyine bir TaC kaplama tabakası uygulanır. Bu yöntemle üretilen TaC kaplı tohum kristal tutucu, mükemmel korozyon direncine, süper mekanik dayanıklılığa, iyi yüksek sıcaklık direncine ve etkili termal iletkenliğe sahiptir.
TaC kaplı tohum kristal tutucunun işlevi
1.Destek işlevi
Semicorex'in TaC kaplı tohum kristali tutucusu, tohum kristalleri için stabil bir destek platformu sağlayarak, tohum kristalinin yüksek sıcaklık ve yüksek vakum gibi zorlu koşullar altında sabit bir pozisyonda kalmasını garanti eder. Bu, kristalin yer değiştirmesi veya titreşim ve hava akışından kaynaklanan hasarlar gibi sorunları etkili bir şekilde önler ve böylece kristal büyümesinin sürekliliğini ve stabilitesini sağlar.
2. Koruyucu Etki
TaC kaplı tohum kristal tutucu, grafit pota kapağının üzerine monte edilir ve grafit kapağı yüksek sıcaklıktaki Si buharından izole eder. Bu, buharın neden olduğu korozyonu etkili bir şekilde önler ve grafit kapağın ömrünü uzatır. Ayrıca TaC kaplamanın doğal kimyasal stabilitesi ve termal sıcaklık direnci, yabancı maddelerin girişini azaltmaya yardımcı olarak tohum kristallerinin büyümesi için stabil ve temiz bir ortam sağlar.
3. Sıcaklık kontrolü
Semicorex TaC kaplı tohum kristal tutucusu, endüstrinin ön saflarında yer alan üretim tekniklerini kullanır. Termal alanın hassas sıcaklık kontrolü, şekillerinin, boyutlarının ve kaplama kalınlıklarının ustaca optimize edilmesiyle sağlanabilir. Bu, kusur oranını önemli ölçüde azaltır ve düzgün kristal büyümesini verimli bir şekilde destekler.