TaC Kaplamalı Planet Plaka

Semicorex TaC Kaplamalı Planet Plaka, MOCVD reaktörleri içinde önemli bir bileşen olarak hizmet eder ve yüzeyi boyunca düzenlenmiş çok sayıda levha cebiyle karakterize edilen bir gezegensel tasarım sergiler. Bu cepler, herhangi bir epitaksiyel katmanın büyüme aşaması sırasında levhaları güvenilir bir şekilde barındırmak, alt tabaka levhalarını stabilize etmek ve yüksek işlem sıcaklıkları altında alt tabaka hareketini en aza indirmek için özel olarak yaratılmıştır. Tam cep geometrisi, aynı işlem sırasında yetiştirilen tüm levhalar için epitaksiyel katmanların tekdüze kalınlığı ve alt tabaka kusurlarının tekdüzelik seviyeleri için önemli olan tutarlı levha yerleşimi sağlar.

Gezegensel plakanın önemli bir tasarım özelliği, bir kez daha, ince gaz akış deliklerinin plakanın yüzeyi boyunca özel olarak dağılmasıdır. Bu delikler, reaktördeki öncül gazların akışını ölçmek için özel olarak dikkatlice tasarlanmış ve stratejik olarak konumlandırılmıştır; böylece, her levha arasında düzgün gaz dağılımı ve eşit birikme elde edilir. Herhangi bir MOCVD prosesinde, film kalitesinin, kalınlık bütünlüğünün ve genel cihaz performansının belirlenmesinde gaz dinamiğinin yönleri kritik öneme sahiptir. Optimize edilmiş delik tasarımıTaC KaplamalıPlanet Plaka, tüm levhaların aynı işlem koşullarını deneyimlemesini sağlar, bu da verimi ve tekrarlanabilirliği artırmak için en uygun yolu sağlar.

Sic focus ring, china, tagagawa, supplier, pabrika, na -customize, bulk, advanced, matibayTaC (tantal karbür) kaplamaplanet plakasının performansını ve ömrünü daha da uzatır. Tantal karbür son derece sert, kimyasal olarak inert ve termal olarak iletken olduğundan aşırı MOCVD ortamları için mükemmel bir kaplamadır. Epitaksi sırasında reaktördeki bileşenler yüksek sıcaklıklarla, reaktif öncü gazlarla ve plazmaya maruz kalacaklardır. TaC kaplama, korozyona, oksidasyona ve parçacık oluşumuna karşı sağlam bir bariyer görevi görerek gezegensel plaka ömrünün, kaplanmamış veya geleneksel olarak kaplanmış bir plakaya göre önemli ölçüde uzatılmasına neden olur.

TaC Kaplamalı Planet Plakanın uzun ömürlülüğü ve dayanıklılığı, onu MOCVD sistemleri için uygun maliyetli bir seçim haline getiriyor. Dayanıklı TaC katmanı, uzun süreler boyunca çalışırken yapısal bütünlüğü ve performans istikrarını korurken, tekrarlanan termal döngülere ve aşırı proses gazlarına maruz kalmaya dayanabilir.