Yarı iletken seramik parçaları

Yarı iletken seramik parçalar gelişmiş seramiklere aittir ve yarı iletken üretim sürecinin vazgeçilmez bir parçasıdır. Hazırlık için hammaddeler genellikle yüksek saflıkta, alüminyum oksit, silikon karbür, alüminyum nitrür, silikon nitrür, yttrium oksit, zirkonyum oksit, vb. Gibi ultra ince inorganik malzemelerdir.

Alüminyum oksit

Yaygın olarak kullanılır ve ürün performansı saflığa göre değişir. % 95 saflık açık sarı ve% 99 saflık kar beyazdır. Mükemmel sertliğe, mukavemete, aşınma direncine, yüksek sıcaklık direnci ve korozyon direncine sahiptir ve seramik nozulları, seramik kollar, vb. Gibi çoğu yarı iletken seramik parçasını hazırlamak için kullanılabilir.

Silikon karbür

Siyahtır, yüksek termal iletkenliğe, yüksek mukavemete ve sertliğe, hafif, iyi şok direncine sahiptir ve genellikle vakum kolları ve vakum vantuzları hazırlamak için kullanılır.

Alüminyum nitrür

Yüksek termal iletkenliğe, silikonla eşleşen bir termal genleşme katsayısına, düşük dielektrik sabiti ve dielektrik kaybına sahiptir ve ısı yayma substratları, seramik nozulları vb. Yapmak için kullanılabilir.

Silikon nitrür

Yüksek erime noktası, ultra yüksek sertlik, yüksek kimyasal inertlik, düşük termal genleşme katsayısı, yüksek termal iletkenlik, iyi termal şok direnci, yüksek darbe direnci ve 1200 ℃ altındaki mukavemet, genellikle seramik substratlar, seramik tüpler vb.

Yttrium oksit

Yüksek erime noktası, iyi kimyasal ve fotokimyasal stabilite, yüksek termal iletkenlik, iyi ışık geçirgenliği, genellikle seramik pencereler yapmak için alümina ile birleştirilir.

Zirkonyum oksit

Yüksek mekanik mukavemet, yüksek sıcaklık direnci, asit ve alkali direnci, iyi yalıtım, farklı içeriğe göre, entegre devre substratları gibi farklı amaçlar için seramik ürünlerden yapılabilir.

Parça türleri:

Farklı fonksiyonlara sahip "çok yönlü" yarı iletken seramik parçalar, esas olarak aşağıdakiler dahil olmak üzere çeşitli yarı iletken anahtar ekipman türlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır:

Yarı iletken seramik kolu

Gofret taşırken yarı iletken ekipmanda rol oynar ve vakum temiz bir ortamda çalışması gerekir. Genellikle yüksek saflıkta alümina veya silikon karbür ile hazırlanan alümina uygun maliyetlidir ve daha fazla kullanılır.

Seramik substrat

Güç elektronik cihazları, lazerler vb. Gibi farklı elektronik ambalaj alanlarında uygulanır ve genellikle alümina ve silikon nitrür gibi malzemelerle hazırlanır.

Seramik nozul

HDP-CVD'de kalitesi reaksiyon gazının saflığını ve akış hızını etkiler. Alüminyum nitrür seramikleri, mükemmel performansları nedeniyle gelişmiş proses ekipmanı için daha uygundur.

Seramik pencere

Yarıiletken Etcher'ın önemli bir bileşenidir. Plazma penetrasyonunu etkilemeden vakumla kapatılabilir. Genellikle yüksek saflıkta alümina ve yttrium oksitten yapılır.

Seramik oda örtüsü

Gofretin kalitesini ve reaksiyon odasının sızdırmazlığını sağlamak için çok önemli olan ince film biriktirme ekipmanının önemli bir bileşenidir.

Seramik Vakum Chuck

Silikon gofretini konumlandırmak ve kelepçelemek için kullanılır. İki seramik malzemeden yapılmış gözenekli bir seramiktir.

Hazırlık Süreci:

"İşçilik" yarı iletken seramik parçalarının hazırlama işlemi, esas olarak aşağıdaki adımlar dahil olmak üzere karmaşıktır:

Toz hazırlığı

Hammaddelerin yeniden işlenmesi gerekir ve gereksinimleri karşılayan ham toz, toplu olarak, mekanik bilyalı öğütme, sprey kurutma ve diğer işlemler yoluyla elde edilir.

Pudra kalıplama

Kuru presleme, izostatik presleme, bant dökümü, enjeksiyon kalıplama, jel enjeksiyon kalıplama ve diğer yöntemler tozu seramik yeşil gövdeye dönüştürmek için yaygın olarak kullanılır.

Yüksek sıcaklık sinterleme

Seramik yeşil gövde, normal basınç sinterleme, vakum sinterleme, atmosfer sinterleme ve diğer yöntemlerle yoğun bir pişmiş gövdeye dönüştürülür.

Hassas işleme

Sinterlenmiş seramik pişmiş gövde, gerekli boyutu ve hassasiyeti elde etmek için CNC tornaları, öğütücüler vb. İle işlenir.

Kalite denetimi

Ürün kalitesini sağlamak için seramik parçaların görünümü, boyutu, gözenekliliği, pürüzlülüğü ve diğer özellikleri test edilir.

Yüzey tedavisi

Kalite muayenesini geçen ürünlerin yüzeyi temizlenir ve ark püskürtme, plazma püskürtme, vb. Gibi özel ihtiyaçlar için daha fazla yüzey işlemi gereklidir.

Semicorex yüksek kaliteli sunarseramik parçalarıyarı iletkende. Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

İletişim Telefonu # +86-13567891907

E -posta: sales@semicorex.com