Seramik ısıtıcılar

Yarıiletken üretiminin ön uç işleminde (Feol)gofretÇeşitli işlem tedavilerine tabi tutulmalıdır, özellikle gofret belirli bir sıcaklığa ısıtılması gerekir ve katı gereksinimler vardır, çünkü sıcaklığın homojenliğinin ürün verimi üzerinde çok önemli bir etkisi vardır; Aynı zamanda, yarı iletken ekipmanların seramik ısıtıcıların kullanılmasını gerektiren vakum, plazma ve kimyasal gaz varlığında çalışması gerekir.Seramik ısıtıcılaryarı iletken ince film biriktirme ekipmanının önemli bileşenleridir. Proses odasında kullanılırlar ve gofretin sabit ve düzgün bir işlem sıcaklığı elde etmesini ve ince filmler üretmek için gofretin yüzeyinde yüksek hassasiyetle reaksiyona girmesini sağlamak için doğrudan gofretle temas ederler.

Seramik ısıtıcılar tarafından kullanılan ince film biriktirme ekipmanı yüksek sıcaklıkları içerdiğinden, esas olarak alüminyum nitrüre (ALN) dayalı seramik malzemeler genellikle kullanılır. Çünkü alüminyum nitrür elektrik yalıtımı ve mükemmel termal iletkenliğe sahiptir; Ek olarak, termal genleşme katsayısı silikonunkine yakındır ve mükemmel plazma direncine sahiptir, yarı iletken ekipman bileşeni olarak kullanılması için çok uygundur.

Elektrostatik aynalar (ESC'ler) esas olarak alüminyum oksit (AL2O3) olmak üzere dağlama ekipmanlarında kullanılır. Elektrostatik aynanın kendisi de bir ısıtıcı içerdiğinden, örnek olarak kuru aşındırmayı alan, belirli bir aşındırma özelliğini korumak için gofretin -70 ℃ ~ 100 ℃ aralığında belirli bir sıcaklıkta kontrol edilmesi gerekir. Bu nedenle, gofretin gofret sıcaklığını doğru bir şekilde kontrol etmek için elektrostatik mandren tarafından ısıtılması veya dağıtılması gerekir. Ek olarak, gofret yüzeyinin homojenliğini sağlamak için, elektrostatik mandren, işlem verimini artırmak için her bir sıcaklık kontrol bölgesinin sıcaklığını ayrı ayrı kontrol etmek için sıcaklık kontrol bölgesini arttırmalıdır. Tabii ki, teknolojinin gelişimi ile, geleneksel seramik ısıtıcılar ve elektrostatik aynalar arasındaki ayrım bulanıklaşmaya başladı. Bazı seramik ısıtıcılar, yüksek sıcaklıkta ısıtma ve elektrostatik adsorpsiyonun ikili fonksiyonlarına sahiptir.

Seramik ısıtıcı, gofret taşıyan bir seramik taban ve onu arkada destekleyen silindirik bir destek gövdesi içerir. Seramik tabanının içinde veya yüzeyinde, ısıtma için direnç elemanına (ısıtma tabakası) ek olarak, bir radyo frekansı elektrotu (radyo frekansı katmanı) da vardır. Hızlı ısıtma ve soğutma elde etmek için seramik tabanın kalınlığı ince olmalı, ancak çok ince sertliği azaltacaktır. Isıtıcının destek gövdesi genellikle tabanınkine benzer bir termal genleşme katsayısına sahip bir malzemeden yapılmıştır, bu nedenle destek gövdesi genellikle alüminyum nitrürden yapılmıştır. Isıtıcı, altta bir şaft (şaft) ekleminin benzersiz bir yapısını benimser, bu da terminalleri ve telleri plazma ve aşındırıcı kimyasal gazların etkilerinden koruyabilir. Isıtıcının muntazam sıcaklığını sağlamak için destek gövdesinde bir ısı iletim gazı girişi ve çıkış borusu sağlanır. Taban ve destek gövdesi kimyasal olarak bir bağlanma katmanı ile bağlanır.

Semicorex yüksek kaliteli sunarseramik ısıtıcılar. Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

İletişim Telefonu # +86-13567891907

E -posta: sales@semicorex.com