Alümina malzemesinin tanıtılması

Alümina seramikBileşenler, yüksek sertlik, yüksek mekanik mukavemet, süper aşınma direnci, yüksek sıcaklık direnci, yüksek direnç ve iyi elektrik yalıtım performansı gibi mükemmel özelliklere sahiptir. Vakum ve yüksek sıcaklık gibi özel ortamlarda yarı iletken üretiminin karmaşık performans gereksinimlerini karşılayabilirler. Yarıiletken üretim üretim hatlarında yeri doldurulamaz ve önemli bir rol oynarlar. Uygulamaları neredeyse tüm yarı iletken üretim ekipmanlarını kapsar ve yarı iletken üretim ekipmanının temel bileşenleridir. Yarı iletken endüstrisinin sürekli gelişimi ile, endüstriyel zincirdeki alümina seramik bileşenlerinin önemi daha belirgin hale gelecektir.

Chip özellik boyutu azaldıkça, yarı iletken ekipman bileşenler üzerinde daha katı gereksinimlere sahiptir ve yoğunluğu, tekdüzeliği, korozyon direnci vb. Daha yüksek olmalıdır. Son yıllarda, yerli ve yabancı akademisyenler, alümina seramik malzemelerinin sinterleme koşullarını iyileştirmek için çeşitli yeni süreçler geliştirdiler, böylece kendi kendini propage eden yüksek sıcaklık sinterleme, flaş sinterleme, soğuk sinterleme ve salınımlı basınç sinterleme gibi alt sinterleme sıcaklıklarında malzemelerin hızlı bir şekilde yoğunlaşmasını sağlayabilirler. Bunlar arasında soğuk sinterleme, toza geçici bir çözücü eklemek ve parçacıklar arasındaki yeniden düzenlemeyi ve difüzyonu arttırmak için büyük bir basınç (350 ~ 500mPa) uygulamaktır, böylece seramik tozu sindirilebilir ve daha düşük bir sıcaklıkta (120 ~ 300 ℃) ve daha kısa bir süre yoğunlaştırılabilir.

Şu anda, küresel entegre devre üretim süreci 3-nanometre düzeyinde daha gelişmiş bir süreçte gelişmiştir. Yarı iletken ekipman ve yarı iletken ekipman hassas bileşenleri sürekli olarak geliştirilmeli ve yükseltilmeli ve aşağı yönlü üretim ihtiyaçlarını karşılamak için işlem iyileştirmeleri yapılmalıdır. Yarı iletken ekipman güncellendikten sonra, bileşenler için yeni ekipmanın özel gereksinimleri senkronize olarak değişecektir. Yarıiletken teknolojisinin geliştirilmesiyle, alümina seramik bileşenleri için performans gereksinimleri, daha yüksek aşınma direnci, yüksek sıcaklık direnci ve daha iyi elektrik yalıtımı dahil olmak üzere yükseliyor. Endüstri eğilimleri daha yüksek saflıkta, daha ince yapı alümina toz malzemeleri geliştirme ve gelişmiş hazırlık teknolojilerini benimseme eğilimindedir.

Alümina seramikleriYarıiletken alanında kullanıldığında çok yüksek saflık gereksinimlerine sahiptir, genellikle%99.5'ten büyüktür. Yarı iletken alanında, alümina seramik parçaları yarı iletken ekipmanının temel kısımlarından biridir. Bunların çoğu gofrete daha yakın odalarda kullanılır. Yarıiletken ekipmanlarında, kullanıma göre sınıflandırılırlar ve esas olarak halka şeklindeki silindirlere, hava akışı kılavuzlarına, yük taşıma sabit, el sıkıştırılmış contalar, modüller vb.

Kazınma işleminde, plazma aşınması sırasında gofretin kontaminasyonunu azaltmak için, güçlü korozyon direncine sahip yüksek saflıkta alümina kaplamalar veya alümina seramikleri, dağlama odası ve oda astarı için koruyucu malzemeler olarak seçilir.

Plazma temizleme işleminde, flor ve klor gibi yüksek reaktif halojen elementleri içeren aşındırıcı gazlar kullanılır. Gaz memesi genellikle yüksek plazma direnci, dielektrik mukavemet ve proses gazları ve yan ürünlerine karşı güçlü korozyon direncine sahip olması gereken alümina seramiklerinden yapılır. Aynı zamanda, iç hassas delik yapısı gaz akışını doğru bir şekilde kontrol etmek için kullanılır.

Yarı iletken üretim işleminde gofret, gofret iletimi için bir taşıyıcı olarak aşındırma, iyon implantasyonu gibi yüksek sıcaklık işlemine tabi tutulabilir. Alümina gofret taşıyıcı, iletim işlemi sırasında gofretin stabilitesini ve güvenliğini sağlayabilir. Alümina gofret taşıyıcı iyi termal iletkenliğe sahiptir ve gofret tarafından üretilen ısıyı etkili bir şekilde dağıtabilir ve ihraç edebilir, böylece gofret termal hasardan koruyabilir.

Gofretlerin işlenmesinde, alümina seramiklerinden yapılmış seramik robotik bir kol kullanılacaktır. Robotun eline eşdeğer bir gofret taşıma robotuna monte edilecektir. Gofretin belirlenen yere taşımaktan sorumludur ve yüzeyi gofretle doğrudan temas halindedir. Gofretler diğer parçacıklar tarafından kontaminasyona son derece duyarlı olduğundan, genellikle bir vakum ortamında gerçekleştirilir. Bu ortamda, çoğu malzemenin robotik kolları genellikle işi tamamlamakta zorlanır. Robotik kolları yapmak için kullanılan malzemelerin yüksek sıcaklıklara dirençli olması, aşınmaya dayanıklı olması ve yüksek sertliğe sahip olması gerekir. Çalışma koşullarının gereksinimleri nedeniyle, genellikle aşırı yüksek saflıkta alümina seramik malzemelerden yapılmıştır ve seramik parçaların doğruluğu ve yüzey pürüzlülüğü garanti edilmelidir.

Semicorex yüksek kaliteli sunarAlümina seramik parçalarıSIC kaplamaları ve TAC kaplamalar dahil yarı iletkende. Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

İletişim Telefonu # +86-13567891907

E -posta: sales@semicorex.com