Yarı iletken duş başlıkları

.gaz dağıtım plakası, genellikle "duş başlığı" olarak adlandırılır, geleneksel bir duş başlığına benzeyebilir, ancak fiyatı tipik bir banyo duşundan önemli ölçüde daha yüksek olan yüz binlerce'ye ulaşabilir.

Gaz dağılım plakasının yüzeyi, ince dokuma sinir ağına benzeyen yüzlerce hatta binlerce küçük, hassas şekilde düzenlenmiş deliklere sahiptir. Bu tasarım, gofret işleme alanının her bölümünün proses gazında eşit olarak "yıkanmasını" sağlayarak gaz akışı ve enjeksiyon açılarının doğru kontrolünü sağlar. Bu sadece üretim verimliliğini arttırmakla kalmaz, aynı zamanda ürün kalitesini de artırır.

Gaz dağıtım plakası, temizlik, aşındırma ve birikme gibi anahtar işlemlerin ayrılmaz bir parçasıdır. Yarı iletken süreçlerin doğruluğunu ve nihai ürünlerin kalitesini doğrudan etkiler, bu da onu çeşitli gaz dağıtım uygulamalarında kritik bir bileşen haline getirir.

Gofret reaksiyon işlemi sırasında,duş başlığıyoğun bir şekilde mikroporlar (açıklık 0.2-6 mm) ile kaplıdır. Tam olarak tasarlanmış kanal yapısı ve gaz yolu aracılığıyla, özel işlem gazının düzgün gaz plakası üzerindeki binlerce küçük delikten geçmesi ve daha sonra gofret yüzeyine eşit olarak birikmesi gerekir. Gofretin farklı alanlarındaki film katmanı, yüksek homojenlik ve tutarlılık sağlamalıdır. Bu nedenle, temizlik ve korozyon direnci için son derece yüksek gereksinimlere ek olarak, gaz dağıtım plakası, gaz dağılım plakası üzerindeki küçük deliklerin açıklığı ve küçük deliklerin iç duvarındaki çapaklar üzerinde katı gereksinimlere sahiptir. Diyafram boyutu toleransı ve tutarlılık standart sapması çok büyükse veya herhangi bir iç duvarda çapak varsa, biriken film katmanının kalınlığı farklı olacaktır, bu da ekipmanın işlem verimini doğrudan etkileyecektir.

Gaz dağılım plakasının malzemesi bazen dış kuvvetin etkisi altında kırılması kolay olan kırılgan bir malzemedir (tek kristal silikon, kuvars cam, seramikler gibi). Aynı zamanda mikroporun çapının 50 katı içinde ultra derin bir deliktir ve kesme durumu doğrudan gözlemlenemez. Ek olarak, kesme ısısının iletilmesi kolay değildir ve yonga çıkarma zordur ve çip tıkanması nedeniyle matkap ucu kolayca kırılır. Bu nedenle, işleme ve hazırlığı çok zordur.

Ek olarak, plazma destekli süreçlerde (PECVD ve kuru aşınma gibi), duş başlığı, elektrotun bir parçası olarak, plazmanın düzgün dağılımını teşvik etmek için bir RF güç kaynağı yoluyla düzgün bir elektrik alanı üretmesi ve böylece gravür veya birikim düzgünlüğünü iyileştirmesi gerekir.

Yarı iletken üretim işleminde kullanılan gazlar yüksek sıcaklık, yüksek basınç veya aşındırıcı olabileceğinden, duş başlığı genellikle korozyona dayanıklı malzemelerden yapılır. Gerçek üretimde, farklı kullanım senaryoları ve gerçek gerekli hassasiyet nedeniyle, gaz dağıtım plakası malzeme bileşimine göre aşağıdaki iki kategoriye ayrılabilir:

(1) Metal Gaz Dağıtım Plakası

Metal gaz dağılım plakalarının malzemeleri arasında alüminyum alaşımı, paslanmaz çelik ve nikel metal, en yaygın kullanılan metal gaz dağıtım plakası malzemesinin alüminyum alaşımı olduğu, çünkü iyi termal iletkenliğe ve güçlü korozyon direncine sahip olduğu için. Yaygın olarak mevcuttur ve işlenmesi kolaydır.

(2) Metalik olmayan gaz dağıtım plakası

Metalik olmayan gaz dağılım plakalarının malzemeleri arasında tek kristal silikon, kuvars cam ve seramik malzemeler bulunur. Bunlar arasında yaygın olarak kullanılan seramik malzemeler CVD-SIC, alümina seramikleri, silikon nitrür seramikleri, vb.

Semicorex yüksek kaliteli sunarCVD sic duş başlıklarıyarı iletken endüstrisinde. Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

İletişim Telefonu # +86-13567891907

E -posta: sales@semicorex.com