İletken kaplamalı grafit ısıtıcılar

.İletken kaplı grafit ısıtıcıyüksek sıcaklık yarı iletken işleme ve diğer vakum termal sistemleri için tasarlanmış yeni bir üründür. Yüksek saflıklı grafitin iyi termal stabilitesini ve bir silikon karbür (sic) kaplamanın mükemmel yüzey özelliklerini kullanır. İletken kaplamalı grafit ısıtıcı, büyük ölçüde gelişmiş yüzey iletkenliği sunan azot katkılı SIC tabakası ile daha da farklılaşır, bu da özellikle kontrollü ve hatta ısıtma gerektiren uygulamalar için uygun hale getirir.

Isıtıcı, çekirdek yapısal ve termal iletken görevi gören yüksek mukavemetli bir grafit substrat ile inşa edilmiştir. Grafit, özellikle yüksek termal iletkenlik seviyeleri, düşük termal genleşme katsayısı ve termal şoka esneklik verildi. Bu özellikler, grafitin hızlı ısıtma ve soğutma döngülerinin olabileceği yüksek sıcaklık işlem uygulamalarında uygun bir taban malzemesi haline getirir. Bununla birlikte, bozulmamış grafitin kendisi, belirli atmosferlerde kimyasal olarak reaktiftir ve özellikle yarı iletken temiz oda ortamlarında, uzun süreli kullanım sırasında yüzey hasarı veya bozulması, parçacık emisyonu veya devri yaşayabilir.

Bu sınırlamaların üstesinden gelmek için, grafit kısmı kalın, yüksek saflıkta bir SIC katmanı ile kaplanmıştır. SIC kaplama çoklu fonksiyonlara hizmet eder: oksidasyon ve kimyasal korozyona karşı bir koruma seviyesi sağlar, çok sert, aşınmaya dayanıklı bir yüzey sağlar ve vakum ve temiz oda standartlarıyla uyumluluk sağlar. SIC, aşırı sertlik, yüksek termal iletkenlik ve kimyasal atıllık konusunda bir üne sahiptir; Bu nedenle, yüksek performanslı termal bileşenler için mükemmel bir kaplama malzemesidir.

Bu ürünün benzersiz yeniliği, SIC kaplamanın azot katkısıdır. Kimyasal buhar birikimi (CVD) işlemi sırasında, azot atomları, yüzey direnciini önemli ölçüde azaltabilen ve bu nedenle iletken bir yüzey tabakası oluşturabilen ve akımın SIC kolinginden bir erişim noktası kullanmak yerine doğrudan geçmesine izin veren SIC kafesine gömülür, böylece tüm grafik bileşenin dirençli bir ısı elemanı olarak hareket etmesine izin verir.

KlasikSic kaplamalaraktif elektrik uygulamaları kapsamında onları gerçekten sınırlayan izolatiftir. Tersine, ısıtıcı üzerindeki azot katkılı SIC tabakası, klasik SIC'nin tüm mekanik ve kimyasal faydalarını korurken son derece düşük bir yüzey direncine sahiptir. İletken tabaka çok iyi akım tekdüzeliği sağlar ve ısıtıcı yüzeyindeki termal dağılımı iyileştirirken güç kaybını en aza indirir. Özellikle epitaksiyal reaktörler, difüzyon fırınları ve hızlı termal işleme (RTP) ekipmanı ile ilişkili koşullar altında hassas ısıtma uygulamaları için idealdir.

Isıtıcı geometrisi, tipik olarak görüntüde gösterildiği gibi spiral veya serpantin, düzgün termal çıkış enerjisi ve düzgün elektrik yükleme üretme niyetiyle tasarlanmış ve optimize edilmiştir. Grafit ve iletken SIC kaplamanın entegre tasarımı ile, elektrik kontakları doğrudan ek elektrotlara veya metal bağlantısına olan ihtiyacı ortadan kaldıran kaplanmış yüzeye yapılabilir. Bu, kontaminasyon risklerini azaltır ve daha basit bir montajla sonuçlanır. Sonuç olarak, genel verimlilik geliştirilir.

İletken'in temel faydalarıSIC kaplı grafit ısıtıcıkatmak:

Azot katkısı nedeniyle mükemmel elektriksel iletkenlik, doğrudan akım akışını ve verimli dirençli ısıtmayı mümkün kılar.

Tüm yüzey alanı üzerinde hassas sıcaklık kontrolü olan üstün termal homojenlik.

Özellikle hidrojen, amonyak veya halojen açısından zengin atmosferler gibi aşındırıcı ortamlarda yüksek kimyasal direnç.

Minimal parçacık üretimi, yarı iletken imalatının katı saflık gereksinimlerini karşılıyor.

Hem grafit çekirdeğinin hem de SIC kaplamasının mekanik dayanıklılığı ve termal şok direnci nedeniyle genişletilmiş servis ömrü.

Bu ısıtıcının uygulamaları bir dizi ileri teknoloji endüstrisine uzanır. Isıtıcı, kimyasal buhar birikimi (CVD), moleküler ışın epitaksisi (MBE) ve gofret tavlama gibi yarı iletken üretim süreçlerinde bir yer bulacaktır; SIC kaplı grafit ısıtıcı, fotovoltaik üretim, gelişmiş seramiklerin sinterlenmesinde ve daha yüksek performans, dayanıklılık ve sağlam ısıtıcıların gerekli olduğu diğer termal işlemlerde de kullanılabilir.

Özetle, iletken SIC kaplı grafit ısıtıcı, termal bileşenlerin geliştirilmesinde etkileyici bir ilerlemedir. Azot katkılı bir SIC kaplama kullanarak, SIC kaplamanın kimyasal stabilitesini elektriksel iletkenlik ile başarıyla birleştiren etkili bir termal ürün geliştirdik. Böylece, en zorlu endüstriyel uygulamalar için daha verimli, daha temiz ve daha güvenilir bir termal işlemin üretilmesi. Yarıiletken ve malzeme endüstrileri sürekli değişimle karşı karşıya kalır ve bu tür hibrit malzemeler, gelecekteki daha gelişmiş teknolojilerin üretim için daha ileri düzeyde önemli hale gelecektir.

Semicorex yüksek kaliteli sunarkaplamalı grafit ısıtıcılarürünler. Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

İletişim Telefonu # +86-13567891907

E -posta: sales@semicorex.com