Yarıiletken üretiminde ana seramik bileşenler

Yarı iletken ekipmanı odalardan ve odalardan oluşur ve çoğu seramik gofretlere daha yakın odalarda kullanılır. Çekirdek ekipman boşluklarında yaygın olarak kullanılan önemli bileşenler olan seramik parçalar, alümina seramikleri, alüminyum nitrür seramikleri ve silikon karbür seramikleri gibi gelişmiş seramik malzemeler kullanılarak hassas işleme yoluyla üretilen yarı iletken ekipman bileşenleridir. Gelişmiş seramik malzemeler, mukavemet, hassasiyet, elektriksel özellikler ve korozyon direncinde mükemmel bir performansa sahiptir ve vakum ve yüksek sıcaklık gibi özel ortamlarda yarı iletken üretiminin karmaşık performans gereksinimlerini karşılayabilir. Yarıiletken ekipmanının gelişmiş seramik malzeme bileşenleri esas olarak odalarda kullanılır ve bazıları gofret ile doğrudan temas halindedir. Bunlar entegre devre üretiminde temel hassas bileşenlerdir ve beş kategoriye ayrılabilir: halka şeklindeki silindirler, hava akışı kılavuzları, yük taşıma ve sabit tipler, tutucu contalar ve modüller. Bu makale esas olarak ilk kategori: halka şeklindeki silindirlerden bahsediyor.

Yüzükler ve silindirler

1. Moiré halkaları: esas olarak ince film biriktirme ekipmanlarında kullanılır. Proses odasında yer alan, gofret ile doğrudan temas ederler, gaz rehberliğini, yalıtımını ve korozyon direncini artırırlar.

2. Koruma halkaları: Esas olarak ince film biriktirme ekipmanlarında ve Etcher'da kullanılır. Proses odasında bulunan elektrostatik aynalama ve seramik ısıtıcı gibi anahtar modül bileşenlerini korurlar.

3. Kenar halkaları: Esas olarak ince film biriktirme ekipmanlarında ve Etcher'da kullanılır. Proses odasında bulunan plazmanın kaçmasını stabilize eder ve önlerler.

4. Odaklanma halkaları: esas olarak ince film biriktirme ekipmanlarında, Etcher ve iyon implantasyon ekipmanlarında kullanılır. Proses odasında bulunan, gofretten 20 mm'den daha azdır ve plazmayı oda içindeki odaklar.

5. Koruyucu Kapaklar: Esas olarak ince film biriktirme ekipmanlarında ve Etcher'da kullanılır. İşlem odasında bulunan, işlem kalıntılarını kapatır ve emerler.

6. Topraklama halkaları: esas olarak ince film biriktirme ekipmanlarında ve Etcher'da kullanılır. Odanın dışında bulunan bileşenleri güvence altına alır ve destekler.

7. Astar: Öncelikle proses odasında bulunan gravürlerde kullanılır, gaz rehberliğini arttırır ve daha düzgün film oluşumu sağlar.

8. Yalıtım Silindiri: Öncelikle ince film biriktirme ekipmanlarında, aşındırıcılar ve iyon implanters'da kullanılırken, işlem odasında bulunur ve ekipmanın sıcaklık kontrol performansını geliştirir.

9. Termokupl koruma tüpü: Öncelikle çeşitli yarı iletken ön uç ekipmanlarında kullanılır, odanın dışında bulunur ve termokuplları nispeten kararlı bir sıcaklık ve kimyasal ortamda korur.

Semicorex yüksek kaliteli sunarseramik ürünleryarı iletkende. Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

İletişim Telefonu # +86-13567891907

E -posta: sales@semicorex.com