Silikon karbür gofret teknesi

Gofret üretimindeki her yüksek sıcaklık sürecinin arkasında sessiz ama önemli bir oyuncu yatıyor: gofret teknesi. Gofret işleme sırasında silikon gofretle doğrudan temas eden çekirdek taşıyıcı olarak, malzemesi, stabilitesi ve temizliği doğrudan nihai çip verimi ve proses stabilitesi ile ilişkilidir. Çeşitli taşıyıcı malzemeler arasında,Silikon Karbür (sic)Tekneler yavaş yavaş geleneksel kuvars çözümlerinin yerini alıyor, gelişmiş işlemler ve üst düzey ekipmanlar için tercih edilen çözüm haline geliyor.

Neden sic gofret tekneleri?

7nm'nin altındaki işlem düğümlerinin ilerlemesi ve yüksek sıcaklık işlem pencerelerinin genişlemesi ile, geleneksel kuvars gofret tekneleri termal stabilite, parçacık kontrolü ve ömür yönetimi açısından giderek daha fazla mücadele etmektedir.

Bununla birlikte, silikon karbür gofret tekneleri aşağıdaki avantajlar nedeniyle yavaş yavaş önem kazanıyor:

1. yüksek sıcaklıklarda yer:

1350-1600 ° C'lik uzun süreli çalışma sıcaklıkları sunarak CVD, difüzyon ve tavlama gibi ana akım işlemleri kolayca kullanırlar. 1800 ° C sıcaklıklara kısa maruz kalma bile, yumuşatma veya deformasyon göstermez, bu da onları tek kristal silikon karbür fırınları gibi üst düzey ekipmanlara uygun hale getirir.

2. Düşük Genişleme ve Yüksek Termal Şok Kararlılığı:

Düşük bir termal genleşme katsayısı ile, hızlı sıcaklık artışlarına ve azalmalara dayanabilirler, termal stresin neden olduğu yapısal çatlamayı en aza indirebilirler. Yüksek sıcaklık, karmaşık atmosferlerde (hidrojen, azot, amonyak ve florür gibi) mükemmel morfoloji ve performansı korurlar.

3. yüzey ve son derece düşük kontaminasyon:

Minimal metal safsızlıkları ile yüksek malzeme saflığı. Düşük yüzey pürüzlülüğü, silikon gofretlerin ikincil kontaminasyonunu önleyen; Mükemmel yüzey pürüzlülüğü kontrolü, RA 0.1μm'nin altında, parçacık dökülmesini bastırır ve gelişmiş işlemlerin temiz oda gereksinimlerini karşılar;

4. Tek parça kalıplama, hassas işlenmiş gofret tekne yapıları doğrudan kalıpsız olarak oluşturulabilir3D baskı, kalıplara duyulan ihtiyacın ortadan kaldırılması, özelleştirme verimliliğinin önemli ölçüde iyileştirilmesi; Beş eksenli işleme ve tel kesme teknolojisi ile birleştiğinde, teknenin dişleri çapraz içermez, gofretlerdeki çizikleri önler ve pürüzsüz otomatik kullanım sağlar;

5. Yüksek güç ve uzun ömür: 

Tek bir tekne yüksek yük taşıma gücüne sahiptir ve aynı anda düzinelerce yüzlerce 12 inçlik gofreti destekleyebilir. Geleneksel kuvars tekneleriyle karşılaştırıldığında, teknenin ortalama ömrü 5-10 kat daha uzundur, bu da ekipman değişim frekansını ve toplam sahiplik maliyetini azaltır.

Uygulama senaryosu

Geniş uyarlanabilirliğiSilikon karbür gofret tekneleriUygulamalarını yarı iletken alanının ötesinde, yeni enerji malzemeleri, LED üretimi ve nükleer enerji araştırması dahil olmak üzere çeşitli yüksek sıcaklık süreç senaryolarına genişletir.

Yarı iletken endüstrisi

Oksidasyon, difüzyon, CVD birikimi ve iyon implantasyonu gibi anahtar süreçler için uygundur, bu da onu 7NM alt işlem çizgileri için vazgeçilmez bir yüksek sıcaklık taşıyıcıdır.

Fotovoltaik endüstri

Topcon ve HJT gibi ortaya çıkan pil teknolojilerinde, gofret tekneleri, LPCVD ve tavlama gibi yüksek sıcaklık fırın işlemlerinde kullanılır ve enerji verimliliğini ve dönüşüm oranlarını iyileştirmeye yardımcı olur.

Üçüncü nesil yarı iletkenler

LED'lerde Gan ve SIC epitaksiyal büyüme süreçleri için safir veya silikon karbür substratlarını desteklerler. Yüksek frekanslı güç cihazlarının üretimini destekleyen NH₃ ve HCL gibi aşındırıcı gazlara dayanırlar.

Yeni Enerji Malzemeleri ve Araştırma Yüksek Sıcaklık Platformu

Lityum pil katot malzemelerinin sinterleme reaksiyonunu ve nükleer endüstri malzemelerinin ısıl işlemini, ısı direncini, korozyon direncini ve temizliği birleştirir.

Semicorex yüksek saflık sunarÖzelleştirilmiş sic gofret tekneleri. Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

İletişim Telefonu # +86-13567891907

E -posta: sales@semicorex.com