Üst Düzey Elektrostatik Ayna İçin Yüzey İşlemi

The elektrostatik aynayarı iletken üretimi alanında düzgün elektrostatik deşarj, ısı iletimi ve levha adsorpsiyonu ve sabitleme gibi birçok işlevi üstlenir. ESC'nin temel işlevlerinden biri, yüksek vakum, güçlü plazma ve geniş sıcaklık aralığı gibi aşırı çalışma koşulları altında levhaları stabil bir şekilde adsorbe etmektir.

Performanslarını asıl belirleyen dış yapı veya temel malzeme formülü değil, yüzey işleme sürecidir. Profesyonel yüzey işlemi yapılmadığı takdirde çalışma sırasında aşağıdaki sorunlarla karşılaşılacaktır:

1. Plazma erozyonu ve metal iyonu kirliliği

Korunmayan seramik yüzeyler, aşındırma veya CVD işlemi ayarlarında plazma erozyonuna karşı hassastır. Bu tür erozyon, doğrudan metal iyonlarının salınmasına veya seramik parçacıklarının dökülmesine ve dolayısıyla levhanın kirlenmesine neden olabilir.

2. Düzensiz termal iletkenlik ve çarpıklık deformasyonu

Pürüzlü yüzeyler veya kötü muamele, levha ile levha arasında eşit olmayan temasa neden olur.ESCısı iletimini engeller ve CD homojenliğini etkiler.

3. Kararsız elektrostatik adsorpsiyon

Elektrostatik aynanın yüzey yalıtım performansının veya iletkenliğinin yanlış kontrolü, kolaylıkla yetersiz adsorpsiyon kuvvetine veya aşırı adsorpsiyona yol açabilir ve sonuçta levha işleme verimini doğrudan etkileyebilir.

Üst düzey ESC'lerin yüzeyi genellikle, gerçek yüksek performanslı entegrasyon elde etmek için kaplamalar aracılığıyla işlevsel alanları hassas bir şekilde düzenleyen kompozit çok katmanlı bir yapı tasarımını benimser.

Üst düzey ESC'lerin ortak yüzey işleme teknolojileri:

1.Floropolimer yapışkan olmayan kaplamalar (PTFE ve PFA gibi)

Bu tür kaplama, fotodirenç kalıntılarının adsorpsiyonunu etkili bir şekilde önleyen düşük yüzey serbest enerjisi nedeniyle özellikle düşük sıcaklıktaki proses ortamları için uygundur.

2. Elmas Benzeri Karbon (DLC) kaplamalar

Yüksek sertliği, plazma direnci ve düşük sürtünme katsayısı ile aşındırma ekipmanlarındaki erozyon önleyici ve parçacık ayrılmasını önleyici uygulamalar için uygundurlar.

1.Floropolimer yapışkan olmayan kaplamalar (PTFE ve PFA gibi)

Bu tip kaplama, belirli bir alanda kararlı bir iletken yol oluşturabilir ve böylece yüzey yüklerinin düzgün deşarjını hassas bir şekilde kontrol ederek yerel yük birikimi problemini etkili bir şekilde önleyebilir.

4. Kompozit termal iletken kaplamalar (elmas tozu ve floropolimer hibrit kaplama gibi)

Bu tür kaplama, yapışkan olmayan nitelikleri termal iletkenlikle birleştirir ve genel performansı, yüksek hassasiyetli termal kontrol ESC'nin uygulama gereksinimlerini tam olarak karşılayabilir.