SiC kristallerindeki kusurlar hakkında - Micropipe

SiC substratında Diş Açma Vidası Dislokasyonu (TSD), Diş Açma Kenarı Dislokasyonu (TED), Taban Düzlemi Dislokasyonu (BPD) ve diğerleri gibi mikroskobik kusurlar bulunabilir. Bu kusurlara atom seviyesindeki atomların dizilişindeki sapmalar neden olur. SiC kristalleri ayrıca Si veya C kalıntıları, mikropipe, altıgen boşluklar, polimorflar vb. gibi makroskopik dislokasyonlara da sahip olabilir. Bu dislokasyonların boyutu tipik olarak büyüktür.

SiC cihazlarının imalatındaki en büyük sorunlardan biri, "mikropip" veya "iğne delikleri" olarak bilinen ve tipik olarak sırasıyla 30-40um ve 0.1-5um boyutlarında olan üç boyutlu mikro yapılardır. Bu mikropipelerin yoğunluğu 10-10³/cm²'dir ve epitaksiyel katmana nüfuz ederek cihazı bozan kusurlara neden olabilir. Bunlar öncelikle spiro dislokasyonlarının kümelenmesinden kaynaklanır ve SiC cihazlarının geliştirilmesindeki birincil engel olarak kabul edilir.

Substrat üzerindeki mikrotübül kusurları, boşluklar, çeşitli polimorfların kalıntıları, ikizler vb. gibi büyüme süreci sırasında epitaksiyel katmanda oluşan diğer kusurların kaynağıdır. Bu nedenle, substrat materyalinin büyüme süreci sırasında yapılması gereken en önemli şey Yüksek voltajlı ve yüksek güçlü SiC cihazları için amaç, toplu SiC kristallerinde mikrotübül kusurlarının oluşumunu azaltmak ve bunların epitaksiyel katmana girmesini önlemektir.

Mikro boru küçük çukurlar olarak görülebilir ve işlemin koşullarını optimize ederek mikropipenin yoğunluğunu azaltmak için "çukurları doldurabiliriz". Literatürdeki çeşitli çalışmalar ve deneysel veriler, buharlaşma epitaksisinin, CVD büyümesinin ve sıvı faz epitaksinin mikropipeyi doldurabildiğini ve mikropipe oluşumunu ve dislokasyonları azaltabildiğini göstermiştir.

Semicorex, mikropipe yoğunluğunu etkili bir şekilde azaltan ve en yüksek kalitede ürünler sağlayan SiC kaplamalar oluşturmak için MOCVD tekniğini kullanıyor. Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

İletişim telefonu numarası +86-13567891907

E-posta: sales@semicorex.com