SiC kaplı grafit tutucular nelerdir?

" olarak da bilinen SiC levhalarını destekleyen tepsi (taban)cenazeci", yarı iletken imalat ekipmanının temel bir bileşenidir. Peki levhaları taşıyan bu algılayıcı tam olarak nedir?

Plaka imalat sürecinde, alt tabakaların ayrıca cihaz imalatı için epitaksiyel katmanlarla inşa edilmesi gerekmektedir. Tipik örnekler şunları içerir:LED yayıcılarsilikon substratların üstünde GaAs epitaksiyel katmanları gerektiren; iletken SiC substratları üzerinde, yüksek voltaj ve yüksek akım uygulamalarında kullanılan SBD'ler ve MOSFET'ler gibi cihazlar için SiC epitaksiyel katmanları büyütülür; Açıkyarı yalıtımlı SiC yüzeylerGaN epitaksiyel katmanları, iletişim gibi RF uygulamalarında kullanılan HEMT'ler gibi cihazları oluşturmak için oluşturulmuştur. Bu süreç büyük ölçüde CVD ekipmanına dayanır.

CVD ekipmanında, gaz akış yönü (yatay, dikey), sıcaklık, basınç, stabilite ve kirletici maddelerin uzaklaştırılması gibi çeşitli etkileyici faktörleri içerdiğinden, epitaksiyel biriktirme için alt tabakalar doğrudan metal veya basit bir taban üzerine yerleştirilemez. Bu nedenle, epitaksiyel katmanları substrat üzerine yerleştirmek için CVD teknolojisini kullanmadan önce, üzerine substratın yerleştirileceği bir tabana ihtiyaç vardır. Bu baz olarak bilinirSiC kaplı grafit alıcı(aynı zamanda taban/tepsi/taşıyıcı olarak da adlandırılır).

SiC kaplı grafit tutucular, tek kristal substratları desteklemek ve ısıtmak için metalorganik kimyasal buhar biriktirme (MOCVD) ekipmanlarında yaygın olarak kullanılır. SiC kaplı grafit tutucuların termal stabilitesi ve tekdüzeliği, epitaksiyel malzeme büyümesinin kalitesinin belirlenmesinde çok önemli bir rol oynar ve bu da onları MOCVD ekipmanının kritik bileşenleri haline getirir.

MOCVD teknolojisi şu anda mavi LED üretiminde GaN ince film epitaksisini büyütmek için ana akım tekniktir. Üretilen GaN ince filmlerin basit kullanımı, kontrol edilebilir büyüme hızı ve yüksek saflığı gibi avantajlar sunmaktadır. MOCVD ekipman reaksiyon odasının içindeki önemli bir bileşen olarak GaN ince film epitaksiyel büyümesi için kullanılan suseptörlerin yüksek sıcaklık direncine, tekdüze termal iletkenliğe, iyi kimyasal stabiliteye ve termal şoka karşı güçlü dirence sahip olması gerekir. Grafit malzemeler bu gereksinimleri karşılayabilir.

Grafit tutucular, MOCVD ekipmanının temel bileşenlerinden biridir ve alt tabaka levhaları için taşıyıcılar ve ısı yayıcılar olarak görev yapar ve ince film malzemelerinin tek biçimliliğini ve saflığını doğrudan etkiler. Sonuç olarak, bunların kalitesi Epi-Gofretlerin hazırlanmasını doğrudan etkiler. Bununla birlikte, üretim sırasında, aşındırıcı gazların ve artık metalorganik bileşiklerin varlığı nedeniyle grafit korozyona uğrayabilir ve bozunabilir, bu da grafit tutucuların ömrünü önemli ölçüde azaltır. Ayrıca düşen grafit tozu da talaşların kirlenmesine neden olabilir.

Kaplama teknolojisinin ortaya çıkışı, yüzeye toz sabitleme, geliştirilmiş ısı iletkenliği ve dengeli ısı dağılımı sağlayarak bu soruna çözüm sunmaktadır. MOCVD ekipman ortamında kullanılan grafit tutucuların yüzeyindeki kaplama aşağıdaki özelliklere sahip olmalıdır:

1. Grafit tutucu, aşındırıcı gaz ortamlarında korozyona karşı duyarlı olduğundan, grafit tabanını iyi bir yoğunlukla tamamen kaplama yeteneği.

2. Kaplamanın birden fazla yüksek sıcaklık ve düşük sıcaklık döngüsünden sonra kolayca ayrılmamasını sağlamak için grafit tutucuyla güçlü bağlanma.

3. Yüksek sıcaklık ve aşındırıcı atmosferlerde kaplamanın etkisiz hale gelmesini önlemek için mükemmel kimyasal stabilite. SiC, korozyon direnci, yüksek termal iletkenlik, termal şoka karşı direnç ve yüksek kimyasal stabilite gibi avantajlara sahiptir ve bu da onu GaN epitaksiyel atmosferlerde çalışmak için ideal kılar. Ayrıca SiC'nin termal genleşme katsayısı grafitinkine çok yakındır ve bu da onu grafit tutucuların yüzeyini kaplamak için tercih edilen malzeme haline getirir.

Semicorex, CVD SiC kaplı grafit tutucular üreterek wafer tekneler, konsol kürekleri, tüpler vb. gibi özelleştirilmiş SiC parçaları üretmektedir. Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

İletişim telefonu numarası +86-13567891907

E-posta: sales@semicorex.com