LPE Ekipmanları

Yarı iletken cihaz imalatı alanında, kristal büyümesinin hassas kontrolü, yüksek kaliteli ve güvenilir cihazlar elde etmek için çok önemlidir. Bu alanda çok önemli bir rol oynayan tekniklerden biri Sıvı Faz Epitaksi'dir (LPE).

LPE'nin Temel Prensipleri:

Epitaksi genel olarak benzer kafes yapısına sahip bir substrat üzerinde kristalin bir katmanın büyümesini ifade eder. Dikkate değer bir epitaksiyel teknik olan LPE, büyütülecek malzemenin aşırı doymuş bir çözeltisinin kullanılmasını içerir. Tipik olarak tek kristalli olan substrat, belirli bir süre boyunca bu çözeltiyle temas ettirilir. Substratın kafes sabitleri ve büyütülecek malzeme yakından eşleştiğinde, malzeme kristal kalitesini korurken substrat üzerine çöker. Bu işlem, kafes uyumlu bir epitaksiyel katmanın oluşmasıyla sonuçlanır.

LPE Ekipmanı:

LPE için her biri belirli uygulamalar için benzersiz avantajlar sunan çeşitli tipte büyütme aparatları geliştirilmiştir:

Devrilme Fırını:

Substrat, kuvars tüpün içindeki grafit teknenin bir ucuna yerleştirilir.

Çözüm, grafit teknenin diğer ucunda yer almaktadır.

Tekneye bağlanan bir termokupl fırın sıcaklığını kontrol eder.

Sistemdeki hidrojen akışı oksidasyonu önler.

Solüsyonun substratla temas etmesini sağlamak için fırın yavaşça eğilir.

İstenilen sıcaklığa ulaşıldıktan ve epitaksiyel katman büyütüldükten sonra fırın orijinal konumuna geri döndürülür.

Dikey Fırın:

Bu konfigürasyonda substrat çözeltiye batırılır.

Bu yöntem, alt tabaka ile çözelti arasında gerekli teması sağlayarak devirme fırınına alternatif bir yaklaşım sağlar.

Çok Kutulu Fırın:

Bu aparatta birden fazla çözelti birbirini takip eden kutularda tutulur.

Substrat farklı solüsyonlarla temas ettirilerek birkaç epitaksiyel katmanın sıralı büyümesine olanak sağlanır.

Bu tip fırınlar, lazer cihazları için ihtiyaç duyulanlar gibi karmaşık yapıların imalatında yaygın olarak kullanılmaktadır.

LPE'nin uygulamaları:

1963'teki ilk gösteriminden bu yana LPE, çeşitli III-V bileşik yarı iletken cihazların imalatında başarıyla kullanıldı. Bunlara enjeksiyon lazerleri, ışık yayan diyotlar, fotodetektörler, güneş pilleri, bipolar transistörler ve alan etkili transistörler dahildir. Çok yönlülüğü ve yüksek kaliteli, kafes uyumlu epitaksiyel katmanlar üretme yeteneği, LPE'yi gelişmiş yarı iletken teknolojilerinin geliştirilmesinde bir mihenk taşı haline getiriyor.

Sıvı Fazlı Epitaksi, yarı iletken cihaz imalatında gereken ustalık ve hassasiyetin bir kanıtıdır. Araştırmacılar ve mühendisler, kristal büyümenin ilkelerini anlayarak ve LPE aparatının yeteneklerinden yararlanarak telekomünikasyondan yenilenebilir enerjiye kadar çeşitli uygulamalara sahip gelişmiş yarı iletken cihazlar yaratmayı başardılar. Teknoloji ilerlemeye devam ettikçe LPE, yarı iletken teknolojisinin geleceğini şekillendiren teknikler deposunda hayati bir araç olmaya devam ediyor.

Semicorex yüksek kalite sunuyorLPE için CVD SiC parçalarıözelleştirilmiş hizmet ile. Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

İletişim telefonu numarası +86-13567891907

E-posta: sales@semicorex.com