CVD yöntemiyle TaC kaplama

Tantal karbür kaplama, 4273 °C'ye kadar erime noktasına sahip, yüksek mukavemetli, korozyona dayanıklı ve kimyasal olarak stabil, yüksek sıcaklıklara dayanıklı, önemli bir yüksek sıcaklık yapı malzemesidir ve en yüksek sıcaklık direncine sahip birkaç bileşikten biridir. Mükemmel yüksek sıcaklıkta mekanik özelliklere, yüksek hızlı hava akışına karşı dirence, ablasyon direncine ve grafit ve karbon/karbon kompozitlerle iyi kimyasal ve mekanik uyumluluğa sahiptir. Bu nedenle, GaN LED'lerin ve MOCVD gibi SiC güç cihazlarının epitaksiyel işleminde TaC kaplama, grafit substrat malzemesini tamamen koruyabilen ve büyüme ortamını arındırabilen H2, HCl, NH3'e karşı mükemmel asit ve alkali direncine sahiptir.

TaC kaplaması 2000 °C'nin üzerindeki sıcaklıklarda stabil kalırken SiC kaplaması 1200-1400 °C'de ayrışmaya başlar ve bu da grafit alt tabakanın bütünlüğünü büyük ölçüde artırır. Tantal karbür kaplamalar şu anda grafit substratlar üzerinde esas olarak CVD ile hazırlanmaktadır ve TaC kaplamaların üretim kapasitesi, SiC güç cihazları ve GaNLED epitaksiyel cihazlarına olan talebi karşılamak için daha da artırılacaktır.

Tantal karbür kaplamaların kimyasal buhar biriktirme (CVD) yoluyla karbon malzemeler üzerine biriktirilmesi için kullanılan kimyasal reaksiyon sistemi TaCl5, C3H6, H2 ve Ar'dır; burada Ar seyreltme ve taşıma gazı olarak kullanılır.

Tantal karbür kaplamalar, MOCVD kullanan GaN LED'lerin ve SiC güç cihazlarının epitaksiyel işleminde çok önemli bir rol oynar. Gelişmiş malzemeler, hayati önem taşıyan bileşenleri koruyarak bunların yüksek sıcaklıktaki yarı iletken üretimiyle ilgili zorlu koşullarda uzun ömürlülüklerini ve performanslarını garanti eder.

SiC güç cihazlarına ve GaN LED'lere olan talep artmaya devam ettikçe tantal karbür kaplamaların üretim kapasitesi de artmaya hazırlanıyor. Üreticiler, yüksek sıcaklık teknolojisinin gelişimini kolaylaştırarak bu endüstrilerin artan gereksinimlerini karşılamaya hazırlanıyor.

Sonuç olarak,tantal karbür kaplamalaryüksek sıcaklıktaki ortamlarda malzemelerin dayanıklılığını ve güvenilirliğini sağlamada inanılmaz bir teknolojik sıçramayı temsil ediyor. Yarı iletken ve güç elektroniği sektörlerinde devrim yaratmaya devam eden bu kaplamalar, modern yüksek teknoloji gelişmelerinin kritik bir unsuru olarak durumlarının altını çiziyor.