Gözenekli grafit malzemelerin SiC kristal büyümesindeki önemi

Semicorex'in SiC kristal büyütme fırını bileşeni,gözenekli grafit varilüç önemli fayda sağlayacak ve yurt içi rekabet gücünü etkili bir şekilde güçlendirebilecektir.SiC substratları:

• SiC kristal büyütme bileşenlerinin maliyetini azaltın;
• SiC kristalinin kalınlığını artırın ve alt tabakanın genel maliyetini azaltın;
• SiC kristal verimini artırın ve kurumsal rekabet gücünü artırın.

SiC kristal büyütme fırınlarına gözenekli grafit levhaların eklenmesi sektördeki sıcak noktalardan biridir. Bir eklemeyle kanıtlanmıştırgözenekli grafitSiC kaynak tozunun üzerindeki tabakalar kullanılarak, kristal alanında iyi bir kütle aktarımı elde edilir ve bu, geleneksel kristal büyütme fırınlarında mevcut olan çeşitli teknik sorunları iyileştirebilir.

(a) Geleneksel kristal büyütme fırını, (b) Gözenekli grafit tabakalı kristal büyütme fırını

Kaynak: Dongui Üniversitesi, Güney Kore

Deneyler, geleneksel kristal büyütme fırınları kullanıldığında SiC substratlarının genellikle çeşitli özelliklere sahip olduğunu göstermiştir.polimorflar6H ve 15R-SiC gibiSiC substratlarıGözenekli grafit bazlı kristal büyütme fırınları kullanılarak hazırlanan yalnızca4H-SiC monokristal. Ayrıca mikrotüp yoğunluğu (MPD) ve aşındırma çukuru yoğunluğu (EPD) da önemli ölçüde azalır. İki kristal büyütme fırınının MPD'si sırasıyla 6-7EA/cm2 ve 1-2EA/cm2'dir.6 kata kadar azaltıldı.

Semicorex ayrıca yeni bir "tek seferlik toplu transfer" sürecini başlattı.gözenekli grafit levhalar. Gözenekli grafit çok iyiarıtma yeteneği. Yeni işlem, birincil kütle aktarımı için yeni bir termal alan kullanır; bu, kütle aktarım verimliliğini iyileştirir ve temel olarak sabit hale getirir, böylece yeniden kristalleşmenin etkisini azaltır (ikincil kütle aktarımından kaçınır), mikrotübüllerin veya Diğer ilişkili kristal kusurlarının riskini etkili bir şekilde azaltır. Ayrıca gözenekli grafit, SiC kristal büyümesi ve kalınlığı problemini çözen temel teknolojilerden biridir çünkü gaz fazı bileşenlerini dengeleyebilir, eser miktardaki safsızlıkları izole edebilir, yerel sıcaklığı ayarlayabilir ve karbon sarma gibi fiziksel parçacıkları azaltabilir. Kristalin kullanılabileceği varsayımına dayanarak,kristalin kalınlığıazaltılabilir. önemli ölçüde artabilir.

Teknik özellikleriSemicorex gözenekli grafit:

Gözeneklilik %65'e kadar ulaşabilir;

Gözenekler eşit şekilde dağılmıştır;

Yüksek parti stabilitesi;

Yüksek mukavemet, ≤1 mm ultra ince silindirik şekle ulaşabilir.

Semicorex yüksek kalite sunuyorgözenekli grafitparçalar. Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

İletişim telefonu numarası +86-13567891907

E-posta: sales@semicorex.com