Neden SiC kaplı grafit duyarlıları seçmelisiniz?

grafit duyarlıMOCVD ekipmanındaki temel parçalardan biridir, gofret substratının taşıyıcısı ve ısıtıcısıdır. Termal kararlılık ve termal tekdüzelik özellikleri, katman malzemelerinin tekdüzeliğini ve saflığını doğrudan belirleyen gofret epitaksiyel büyümesinin kalitesinde belirleyici bir rol oynar ve sonuç olarak kalitesi, epitaksinin hazırlanmasını doğrudan etkiler. Bu arada kullanım sayısının artması ve çalışma koşullarının değişmesi ile birlikte çok kolay kaybedilen ve sarf malzemelerine ait olan bir üründür. Grafitin mükemmel termal iletkenliği ve kararlılığı, onu iyi bir avantaj haline getirir.MOCVD ekipmanı için bir temel bileşen. Ancak sadece saf grafit kullanılırsa bazı sorunlarla karşılaşacaktır. Üretim sürecinde aşındırıcı gaz ve metal organik kalıntısı olacak ve grafit taban, servis ömrünü büyük ölçüde azaltan tozu aşındıracak ve bırakacaktır.grafit duyarlı, ve düşen grafit tozu da çipin kirlenmesine neden olacaktır, bu nedenle tabanın hazırlanması sürecinde de Bu sorunların tabanın hazırlanması sırasında çözülmesi gerekir. Kaplama teknolojisi, yüzey tozu fiksasyonu sağlayabilir, termal iletkenliği artırabilir ve bu sorunu çözmek için ana teknoloji haline gelen termal dağılımı eşitleyebilir. Ana teknoloji bu sorunu çözmektir. Uygulama ortamına ve gereksinimlerine göregrafit duyarlılar, yüzey kaplaması aşağıdaki özelliklere sahip olmalıdır.

Yüksek yoğunluklar ve tam kaplama: grafit taban bir bütün olarak yüksek sıcaklıkta, aşındırıcı bir çalışma ortamındadır, yüzey tamamen sarılmalı ve kaplamanın iyi bir koruyucu rol oynaması için iyi yoğunluklara sahip olması gerekir.

İyi yüzey düzlüğü: Tek kristal büyümesi için kullanılan grafit taban çok yüksek bir yüzey düzlüğü gerektirdiğinden, kaplama hazırlandıktan sonra tabanın orijinal düzlüğü korunmalıdır, yani kaplama yüzeyi üniform olmalıdır.

İyi yapışma gücü: Grafit taban ile kaplama malzemesi arasındaki termal genleşme katsayısı farkının azaltılması, aralarındaki bağlanma gücünü etkili bir şekilde artırabilir ve yüksek ve düşük sıcaklıktaki termal döngülerden sonra kaplamanın kırılması kolay değildir.

Yüksek termal iletkenlik: Yüksek kaliteli talaş büyümesi, grafit tabandan hızlı ve tekdüze ısı gerektirir, bu nedenle kaplama malzemesinin yüksek termal iletkenliği olmalıdır.

Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklıkta oksidasyon ve korozyon direnci: Kaplama, yüksek sıcaklıkta ve aşındırıcı çalışma ortamlarında kararlı bir şekilde çalışabilmelidir.