SOI nedir?

Yalıtkan üzerinde silikon (SOI), nanoteknoloji çağında mevcut monokristal silikon malzemeleri değiştirmek için çözümlerden biri olarak kabul edilir ve Moore Yasası trendini sürdürmek için önemli bir araçtır. Geleneksel toplu alt tabaka silikonunu "tasarlanmış" bir alt tabaka ile değiştiren bir alt tabaka teknolojisi olan yalıtkan üzerinde silikon, SOI'nin mükemmel olması nedeniyle benzersiz avantajlara sahip olduğu askeri ve uzay elektroniği sistemleri gibi özel uygulamalarda 30 yılı aşkın bir süredir kullanılmaktadır. radyasyon direnci ve yüksek hız özellikleri.

SOI malzemeleri, SOI teknolojisinin gelişiminin temelidir ve SOI teknolojisinin gelişimi, SOI malzemelerinin sürekli ilerlemesine bağlıdır. Düşük maliyetli, yüksek kaliteli SOI malzemelerinin olmaması, SOI teknolojisinin büyük ölçekli endüstriyel üretime girmesi için birincil kısıtlama olmuştur. Son yıllarda, SOI malzeme hazırlama teknolojisinin olgunluğuyla birlikte, SOI teknolojisinin gelişimini kısıtlayan malzeme sorunu yavaş yavaş çözülmektedir ve sonuçta iki tür SOI malzeme hazırlama teknolojisi, yani Speration-by-oxygen implantation (SIMOX) içermektedir. ve yapıştırma teknolojisi. Bağlama teknolojisi, Fransa'daki SOITEC'in kurucularından biri olan M. Bruel tarafından önerilen geleneksel Bond and Etch back (BESOI) teknolojisi ve hidrojen iyonu enjeksiyonu ile bağlamayı birleştiren Smart-cut teknolojisini ve ayrıca Simbond SOI malzeme hazırlama kombinasyonunu içerir. oksijen izolasyonu ve bağlama Dr. Meng Chen tarafından 2005 yılında önerilmiştir. Yeni teknoloji, oksijen enjeksiyon izolasyonu ve bağlamayı birleştirir.