Farklı reaktör türleri arasındaki yapısal farklılıklar

Reaksiyon odası konfigürasyonuna bağlı olarak, ısıl işlem ekipmanı (fırın tüpü ekipmanı) esas olarak üç kategoriye ayrılır: dikey fırın tüpleri, yatay fırın tüpleri ve hızlı termal işlem (RTP) fırınları.

Dikey fırın tüpleri, ısıtma için tüplerin etrafına yerleştirilen levhalarla birlikte dikey olarak düzenlenmiş kuvars tüplere sahiptir. Başlıca avantajları, eşit sıcaklık dağılımı, hassas atmosfer kontrolü, yüksek otomasyon, daha az partikül kirliliği, küçük ayak izi ve toplu işleme desteği (özellikle 12 inçlik plakalar için uygundur), bu da onları şu anda mevcut ana ekipman haline getiriyor. Küresel pazar büyüklüğü 2024'te 3,2 milyar dolara ulaştı (SEMI verileri). Dezavantajları arasında kolay gaz-sıvı ayrımı ve ortamın aşağı doğru akışının potansiyel olarak fırın tüpünün yanmasına neden olması yer alır.

Yatay fırın tüpleri yatay olarak yerleştirilmiş kuvars tüplere sahiptir ve bir seferde 100-200 gofret işleyebilir. Avantajları arasında fırın tüpü içinde eşit gaz-sıvı akışı ve daha hassas sıcaklık kontrolü yer alır. Dezavantajları arasında daha büyük kaplama alanı ve yüksek alaşımlı çelik ara boru desteklerinin daha fazla tüketilmesi yer alır. Yapısal olarak, yatay fırın boruları, levhaları işlenmek üzere yatay boruların içine dikey olarak yerleştirir.

Hızlı termal tavlama (RTP) fırınları, tekli levhaları hızla ısıtmak için halojen kızılötesi lambalar kullanır ve oda sıcaklığını değiştirmeden yalnızca levha sıcaklığını değiştiren hızlı ısıtma ve soğutma oranları sunar. Küçük miktarlardaki hızlı tavlama için uygundurlar ancak seri üretim için uygun değildirler.

Gofret işlemede yatay fırın tüpleri, gofreti bir kuvars tekneye yerleştirir ve bu tekne de silikon karbür (SiC) destek çerçevesi üzerinde durur. Destek çerçevesi daha sonra kuvars fırın tüpüne itilir ve burada levha, sabit sıcaklıktaki bir bölgede reaksiyona girer. Dikey fırın tüpleri ise gofreti bir kuvars kulesinin üzerine yerleştirir ve işlenmek üzere yavaş yavaş kuvars fırın tüpüne kaldırır. Reaksiyonun ardından levha, bükülmeyi veya kırılmayı önlemek için yavaşça indirilir.

Semicorex yüksek kalitede özelleştirilmiş tedarik sağlarkuvars fırın reaktörü. Ürünlerimiz üstün termal stabilite, daha uzun hizmet ömrü ve olağanüstü süreç tutarlılığı sağlayacak şekilde tasarlanmıştır. Özelleştirilmiş çözümler veya ek teknik bilgiler için lütfen mühendislik ekibimizle iletişime geçmekten çekinmeyin.

Telefon: +86-13567891907

E-posta: sales@semicorex.com