Al2O3 Vakum Chuck

Yarı İletken Üretimindeki Uygulamalar

SemicorexAl2O3 Vakum Chuck, yarı iletken üretiminin birçok aşamasında kullanılan çok yönlü bir araçtır:

İnceltme: Plaka inceltme işlemi sırasında, Al2O3 Vakum Aynası stabil ve eşit bir destek sağlayarak yüksek hassasiyette alt tabaka azaltımı sağlar. Bu, çip ısı dağılımını iyileştirmek ve cihaz performansını artırmak için çok önemlidir.

Dilimleme: Gofretlerin tek tek yongalar halinde kesildiği dilimleme aşamasında, Al2O3 Vakum Aynası güvenli ve istikrarlı bir adsorpsiyon sunarak hasar riskini en aza indirir ve temiz kesimler sağlar.

Temizleme: Al2O3 Vakum Aynasının pürüzsüz ve düzgün adsorpsiyon yüzeyi, onu levha temizleme işlemlerine uygun hale getirerek kirletici maddelerin levhalara zarar vermeden etkili bir şekilde çıkarılmasını sağlar.

Taşıma: Plaka taşıma ve taşıma sırasında Al2O3 Vakum Aynası güvenilir ve emniyetli destek sağlayarak hasar ve kirlenme riskini azaltır.

SemicorexVakumAyna Akışı

SemicorexAl2O3 Vakum Chuck'ın Avantajları

1. Düzgün Mikro Gözenekli Seramik Teknolojisi

Al2O3 Vakum Aynası, eşit boyutlu nano tozların kullanımını içeren mikro gözenekli seramik teknolojisi kullanılarak üretilmiştir. Bu teknoloji, gözeneklerin eşit şekilde dağılmasını ve birbirine bağlanmasını sağlayarak yüksek gözeneklilik ve eşit yoğunlukta bir yapı sağlar. Bu tekdüzelik, tutarlı ve güvenilir levha desteği sağlayarak vakum aynasının performansını artırır.

2. Olağanüstü Malzeme Özellikleri

Al2O3 Vakum Chuck'ta kullanılan ultra saf %99,99 Alümina (Al2O3), bir dizi olağanüstü özellik sunar:

Termal Özellikler: Yüksek ısı direnci ve mükemmel ısı iletkenliği ile Al2O3 Vakumlu Ayna, yarı iletken üretiminde yaygın olarak karşılaşılan yüksek sıcaklıklara dayanabilir.

Mekanik Özellikler: Alüminanın yüksek mukavemeti ve sertliği, Al2O3 Vakum Aynasının dayanıklı olmasını ve aşınma ve yıpranmaya karşı dayanıklı olmasını sağlayarak uzun süreli performans sağlar.

Diğer Özellikler: Alümina ayrıca yüksek elektrik yalıtımı ve korozyon direnci sunarak Al2O3 Vakumlu Aynayı çok çeşitli üretim ortamlarına uygun hale getirir.

3. Üstün Düzlük ve Paralellik

Al2O3 Vakumlu Chuck'ın en önemli avantajlarından biri yüksek düzlük ve paralelliktir. Bu özellikler, hassas ve istikrarlı yonga levha işlemeyi sağlamak, hasar riskini en aza indirmek ve tutarlı işleme sonuçları sağlamak için çok önemlidir. Ek olarak, Al2O3 Vakumlu Aynanın iyi hava geçirgenliği ve eşit adsorpsiyon kuvveti, düzgün ve güvenilir çalışmayı sağlar.

4. Özelleştirme Seçenekleri

Semicorexolarak her yarı iletken üretim sürecinin kendine özgü gereksinimleri olduğunun bilincindeyiz. Bu nedenle özel ihtiyaçlarınızı karşılayacak şekilde özelleştirilmiş Vakumlu Aynalar sunuyoruz. Gerekli düzlük ve üretim maliyetlerine bağlı olarak, vakumlu aynanın ağırlığının ve performansının uygulamanız için optimize edilmesini sağlayacak şekilde farklı taban malzemeleri öneriyoruz. Bu malzemeler arasında SUS430 paslanmaz çelik, Alüminyum Alaşımlı 6061, yoğun Alümina seramik (fildişi rengi), granit ve yoğun silisyum karbür seramik yer alır.

Al2O3 Vakum Aynası CMM Ölçümü