Alümina seramik uç efektör

Semicorex alümina seramik uç efektör, eşsiz mekanik mukavemet, termal stabilite ve kimyasal direnç sunan otomatik gofret transfer sistemlerinde önemli bir araçtır. Yüksek saflık kullanılarak üretilmiştiralümina (al₂o₃) seramik, bu son efektör, hassasiyet, temizlik ve dayanıklılığın çok önemli olduğu gofret işleme ortamlarının katı taleplerini karşılayacak şekilde tasarlanmıştır.

Yarıiletken robot kolları, yarı iletken ekipmanın önemli kısımlarından biridir. Genellikle kontrolörlerden, sürücülerden, kollardan ve son efektörlerden oluşurlar. Yüksek temizlik, yüksek stabilite, yüksek hassasiyet, yüksek verimlilik ve yüksek güvenilirlik ile karakterizedir. Yarı iletken robotlar esas olarak yarı iletken gofretleri taşımak, taşımak ve konumlandırmak için yarı iletken üretiminin ön uç işleminde kullanılır.

Alümina içeriğine sahip seramik yapı, tipik olarak% 99.5'ten daha yüksek olan seramik yapı, zaman içinde bozulmadan yüksek hassasiyetli ortamlarda tekrarlanan hareketler için üstün sertlik ve aşınma direnci sağlayacaktır. Yüksek termal iletkenlik ve alüminanın düşük termal genişlemesi, yüksek sıcaklıkta olan ortamlarda boyutsal stabiliteye izin verir, bir Etcher, Depositer, Muayene veya Temizleme Aracı gibi yarı iletkenlerde çoğu temiz oda işleminde bir zorunluluktur.

.alümina seramikUç efektör, pürüzsüz ve düşük gözenekliliğe sahip önemli bir karakteristik yüzey kaplamasına sahiptir, bu da onu üretilen sıfır parçacıklara ve gofret taşıma sırasında kirleticiler üzerinde sıfır etkiye veya sıfır etkiye sahiptir. Ek olarak, alümina kimyasal olarak inerttir. Bu, proses gazlarının hiçbirine ve gofretin temas ettiği herhangi bir proses sıvısıyla tepki vermeyeceği anlamına gelir. Bu, gofret ve herhangi bir kontaminasyonu kendisine ve ekipmanları korozyona neden olabilecek herhangi bir şeyden korur.

Genellikle bir Etcher veya Tedavi Aracı gibi gofret imalat ekipmanı ve ekipmanlarında robotik kollar veya transfer modülleri için son efektörler veya bir sıkıştırma mekanizması olarak kullanılırlar, gerçek gofret büyüklüğünü olan hassas yuvalar, oluklar veya vakum kanallarına sahip, 100 mm, 200 mm veya 300 mm veya aktarma ve yakalanan vakum kanallarına sahip vakum kanalları ve aktarma aracı olarak kullanılırlar. Son efektörler tipik olarak gofret transfer hızlarını 25 cm/saniyede işler.

Özelleştirme seçenekleri, belirli ekipman arayüzleri veya gofret boyutları için tasarlanmış çizgiler boyunca mevcuttur. Alümina'nın yapısal sertliği, taşıma sisteminin genel kütlesini en aza indiren ve daha hızlı tepki sürelerine yol açan ince ve hafif profillere izin verir. Bazı konfigürasyonlar, hassas elektronik substratlara ek koruma sağlamak için anti-statik veya yalıtım bileşenleri ekleyebilir.

Genel olarak, alümina seramik uç efektörü, operasyonel güvenilirliğin gofret işleme hattı için temel unsurlar olduğu gelişmiş verimi ve azaltılmış kontaminasyonu teşvik eden etkili bir çözüm sağlar. Dayanıklılığı ve fiziksel performans özellikleri ile etkili ve uygun maliyetli alümina seramik uç efektörü, ultra temiz bir ortamda katı üretim standartları gerektiren yarı iletken ekipman üreticileri ve FAB'ler arasında popüler bir seçim olarak kendini ayırır.